[发明专利]感光性树脂组合物有效
申请号: | 200680008236.3 | 申请日: | 2006-03-14 |
公开(公告)号: | CN101142529A | 公开(公告)日: | 2008-03-12 |
发明(设计)人: | 谷口龙一郎;三井博子;诹方充史 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G03F7/037 | 分类号: | G03F7/037;G03F7/027;G03F7/004;C08G73/10;H01L21/027 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 熊玉兰;李平英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种感光性树脂组合物,含有(a)在主链末端具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基的基团的聚酰亚胺、(b1)通式(1)表示的含有不饱和键的聚合性化合物和(c)光聚合引发剂,
[化1]
式中、R1表示具有至少1个芳环的一~三价有机基团,R2~R4表示具有不饱和键的聚合性基团,R5~R7表示二价有机基团,R2~R4和R5~R7分别可以相同,也可以不同,另外,o、p、q表示0~1的整数,r、s、t分别独立地表示1~10的整数,但是o+p+q≥1。
2.权利要求1所述的感光性树脂组合物,其进一步含有(b2)具有脂环族烃基的含不饱和键的聚合性化合物。
3.权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其进一步含有(d)热交联性化合物。
4.权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,(a)成分聚酰亚胺含有全部聚酰亚胺的10重量%以上的选自通式(2)~(5)中的一种以上的聚酰亚胺,
[化2]
式中,R8表示4~14价的有机基团,R9表示2~12价的有机基团,R10和R12表示氢原子或具有至少一个选自酚式羟基、磺酸基、巯基和碳原子数1~20的有机基团中的基团的有机基团,它们分别可以相同,也可以不同,R11表示非环状的二价有机基团,X表示具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基中的基团的一价芳基或环状脂族基团,Y表示具有至少一个选自羧基、酚式羟基、磺酸基和巯基中的基团的一价有机基团,n表示3~200的范围,m、α和β分别独立地表示0~10的整数。
5.权利要求4所述的感光性树脂组合物,其中通式(2)~(5)中的m为0。
6.权利要求3所述的感光性树脂组合物,(d)成分热交联性化合物含有通式(6)表示的有机基团,
[化3]
-(CH2-OR13)(6)
式中、R13表示氢原子、碳原子数1~20的烷基、碳原子数4~20的脂环族烃基或R14CO基,R14表示碳原子数1~20的烷基。
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