[发明专利]光学耦合至IC芯片无效
申请号: | 200680009101.9 | 申请日: | 2006-02-14 |
公开(公告)号: | CN101147088A | 公开(公告)日: | 2008-03-19 |
发明(设计)人: | 爱德华·J·佩伦;格雷戈里·L·沃杰西克;劳伦斯·C·韦斯特 | 申请(专利权)人: | 应用材料股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/12 | 分类号: | G02B6/12 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 耦合 ic 芯片 | ||
1.一种光电电路,其包含:
一IC芯片,其包含一基材,基材中制作有一光波导与一镜子,且该基材上并具有一第一镜片形成于其上,其中该镜子与该光波导相对准,且该第一镜片与该镜子相对准,以形成一连接该第一镜片、该镜子、以及该光波导的光路径;以及
一光耦合器,其包括一第二镜片,且该光耦合器被固定至基材上,且被定位成使该第二镜片与该第一镜片相对准,以将一光信号耦合入或耦合出位于该IC芯片中的该光波导。
2.根据权利要求1所述的光电电路,其特征在于,该基材也包括一制造于其中的微电子电路。
3.根据权利要求2所述的光电电路,其特征在于,该光耦合器由一相对于该光信号的波长是透明的材料所制成。
4.根据权利要求3所述的光电电路,其特征在于,该第二镜片为该光耦合器整个形成的一部分。
5.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该微电子电路被制造在该基材中的一第一层,而该光波导与该镜子被制造在该基材中的一第二层,该第二层在该基材内而位于该第一层下方。
6.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该基材具有一背侧,且该第一镜片形成在该基材的该背侧上。
7.根据权利要求6所述的光电电路,其特征在于,该光耦合器被固定至该基材的该背侧。
8.根据权利要求6所述的光电电路,其特征在于,该光耦合器被固定至该基材的前侧。
9.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该第一镜片形成在该基材的前侧上。
10.根据权利要求9所述的光电电路,其特征在于,该IC芯片还包括一反射区,其形成在该基材的该背侧上,且其中该第一镜片、该反射区、以及在该光波导中的该镜子沿着该光路径而相对准,且该反射表面位于该第一镜片与该镜子之间。
11.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,还包含一连接至该光耦合器的光纤,其中该光耦合器、在该基材的背侧上的第一镜片、以及该镜子,相结合而光学地耦合该光纤与该光波导。
12.根据权利要求11所述的光电电路,其特征在于,该第一与第二镜片界定一光轴,且其中该光耦合器包括一镜子与一耦合表面,该耦合表面抵接该光纤,且其中该光纤横向对准该光轴。
13.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该耦合器包括一衍射光栅,此光栅在操作期间会使该光信号改向。
14.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该耦合器包括一具角度的表面与一沉积在该具角度表面上的金属膜,以形成该在该光耦合器中的镜子。
15.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该光耦合器包括一安装结构。
16.根据权利要求15所述的光电电路,其特征在于,该安装结构包含一管状延伸物,其环绕并远离该在该光耦合器中的第二镜片而延伸,且其末端界定有一平坦表面抵靠IC芯片的背侧。
17.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,包括一体成形的第一镜片的该光耦合器是由模制玻璃所制成。
18.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,包括一体成形的第一镜片的该光耦合器是由模制塑料所制成。
19.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,还包含一环氧树脂,用以将该光耦合器黏结至该基材。
20.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,还包含一金属化物,用以将该光耦合器黏结至该基材。
21.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该基材包含硅。
22.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,该基材还包含一基座,其远离该背侧而延伸,且在该基座的一末端上形成该第一镜片。
23.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,还包含一芯片载架,且该IC芯片以倒装芯片方式装设在该芯片载架上。
24.根据权利要求4所述的光电电路,其特征在于,还包含一AR膜,其沉积在该光耦合器中的该第二镜片上。
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