[发明专利]运行脉冲式电弧源的方法

权利要求书

1.一种用于运行电弧源的方法，其中引起或运行在靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电，其特征在于，所述靶的表面至少部分被绝缘层覆盖。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述绝缘层通过在含有反应气体的环境中运行所述电弧源来产生。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，与用没有绝缘层的表面来运行相比，通过所述绝缘层导致源电压的直流分量提高至少10％，优选提高至少20％。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，含有反应气体的环境包括至少一种以下成分：含有氧、氮、硅、硼或碳的气体，尤其是氧气、氮气、乙酰、甲醛、硅烷、四甲基硅烷、三甲铝、乙硼烷。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述反应气体的含量比惰气高，优选反应气体的含量超过70％，更为优选的是超过90％，或大约为100％。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述靶材料包括至少一种以下材料：IV、V、VI副族的过渡金属或铝、硼、碳或硅，或所述材料的合金或化合物，如TiAl、CrAl、TiAlCr、TiSi、TaSi、CrSi、WC。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述绝缘层由靶材料的氧化物、氮化物、硼化物、硅化物、碳化物制成，或由该靶材料的这些化合物的混合物组成。

8.一种用于运行电弧源的方法，其中引起或运行在靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电，其特征在于，所述电流的直流分量设置为保持电流的100％至300％，优选为保持电流的100至200％。

9.一种用于运行电弧源的方法，其中引起或运行在靶表面上的电火花放电，其中该火花放电同时用直流电以及脉冲或交流电来馈电，其特征在于，所述电流的直流分量设置在30到90A的范围内，优选在30到60A之间。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，加入反应气体、惰气或反应气体和惰气。

11.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述靶材料包括至少一种以下材料：IV、V、VI副族的过渡金属或铝、硼、碳或硅，或所述材料的合金或化合物，如TiAl、CrAl、TiAlCr、TiSi、TaSi、CrSi、WC。

12.根据权利要求1、8或9所述的方法，其特征在于，所述靶材料只由唯一的一个结晶相组成。

13.根据上述权利要求之一所述的方法，其特征在于，所述直流电分量通过直流发电机产生，所述脉冲或交流电分量通过脉冲或交流发电机产生，其中两个发电机并联或串连在电弧阴极和至少一个阳极或地之间。

14.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其特征在于，所述直流电分量和脉冲电流分量通过两个叠加并且同步运行的脉冲或交流发电机来产生，其中两个发电机并联或串连在电弧阴极和至少一个阳极或地之间。

15.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其特征在于，所述直流电分量和脉冲电流分量通过一个在次级由时钟控制的电流发电机来产生，其中该发电机并联或串连在电弧阴极和至少一个阳极或地之间。

16.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其特征在于，所述直流电分量和脉冲电流分量通过一个在初级由时钟控制的电流发电机来产生，其中该发电机并联或串连在电弧阴极和至少一个阳极或地之间。

17.一种涂层方法，其特征在于，运行根据上述权利要求之一所述的电弧源，以用于在工件上沉积一个或多个层。

18.根据权利要求17所述的涂层方法，其特征在于，所述层包括至少一种以下材料：IV、V、VI副族的过渡金属，以及铝和它们与氧、氮、碳、硼或硅的化合物。