[发明专利]微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置、检查方法、以及计算机程序

权利要求书

1.一种微小结构体的探针卡，用于检查具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性，其特征在于，

为了利用烧穿现象使设置在所述微小结构体上的检查用电极与设置在所述探针卡上的探针导通，针对一个所述检查用电极设置两个探针。

2.如权利要求1所述的微小结构体的探针卡，其特征在于，

所述探针卡包括利用烧穿现象使所述检查用电极与所述探针导通的导通单元。

3.如权利要求1所述的微小结构体的探针卡，其特征在于，

还包括为了检查所述微小结构体的特性而使所述微小结构体的可动部分变动的变动单元。

4.如权利要求3所述的微小结构体的探针卡，其特征在于，

所述变动单元包括用于向所述微小结构体的可动部分输出测试声波的至少一个声波产生单元。

5.如权利要求1所述的微小结构体的探针卡，其特征在于，

所述探针的与所述微小结构体的检查用电极接触的顶端按照与所述微小结构体的检查电极垂直接触的方式形成。

6.一种微小结构体的检查装置，检查具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性，其特征在于，包括：

使探针与所述微小结构体的检查用电极接触的单元；以及

导通单元，利用烧穿现象使所述检查用电极与所述探针导通。

7.如权利要求6所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述导通单元包括：

烧穿用电源，用于向所述检查用电极施加电压以引起所述烧穿现象；

测定部，用于与所述检查用电极电连接并输出用于进行所述检查的检查用信号；以及

切换电路，在引起所述烧穿现象时与所述烧穿用电源连接，在进行所述规定的检查时与所述测定部连接。

8.如权利要求6所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述导通单元包括：

电压输出单元，向所述检查用电极施加引起烧穿现象的电压信号，或者向所述检查用电极施加用于执行规定检查的检查用电压信号；以及

检验单元，检验响应所述检查用电压信号而从所述检查用电极检测到的信号。

9.如权利要求6所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

包括用于向所述微小结构体的可动部分输出测试声波的至少一个声波产生单元。

10.如权利要求6所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，所述微小结构体相当于加速度传感器和倾斜角传感器中的至少一个。

11.如权利要求10所述的微小结构体的检查装置，其特征在于，

所述加速度传感器和倾斜角传感器分别相当于多轴加速度传感器和多轴倾斜角传感器。

12.一种微小结构体的检查方法，用于检查具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性，其特征在于，包括：

接触步骤，使探针与所述微小结构体的检查用电极接触；以及

导通步骤，利用烧穿现象使所述检查用电极与所述探针导通。

13.如权利要求12所述的微小结构体的检查方法，其特征在于，

所述导通步骤包括如下步骤：为了引起所述烧穿现象，连接所述探针和烧穿用电源，向所述检查用电极施加电压，

所述微小结构体的检查方法还包括如下步骤：在所述检查用电极与所述探针导通之后，经由所述探针向所述检查用电极输出用于进行规定检查的检查用信号。

14.如权利要求13所述的微小结构体的检查方法，其特征在于，

还包括如下步骤：检验响应所述检查用信号而从所述检查用电极检测到的信号。

15.如权利要求12所述的微小结构体的检查方法，其特征在于，

在所述接触步骤中，使所述探针与所述微小结构体的检查用电极面垂直接触。

16.如权利要求12所述的微小结构体的检查方法，其特征在于，

所述接触步骤还包括检验所述检查用电极与探针接触的情况的接触检验步骤。