[发明专利]声表面波马达

权利要求书

1.一种声表面波马达，包括：

声表面波基底；

滑动器，配置为在被施加压力时与所述声表面波基底的表面接触；

一个或多个驱动叉指电极，配置在所述声表面波基底的表面上并连接至外部电源，用以在所述声表面波基底中生成驱动声表面波，以通过摩擦力来驱动所述滑动器，其中基于所述声表面波和施加至所述滑动器的压力，在所述滑动器的与所述声表面波基底接触的接触表面上生成所述摩擦力；和

恢复叉指电极，设置在所述声表面波基底的表面上且位于所述声表面波的行进方向的前方和后方，用于恢复声表面波中未用于驱动所述滑动器的声表面波的能量，以及用于使用所恢复的能量生成声表面波；

其中，所述声表面波马达还包括：相位调节装置，用于使由所述恢复叉指电极生成的声表面波的相位与由所述驱动叉指电极生成的驱动声表面波的相位匹配。

2.如权利要求1所述的声表面波马达，具有至少一对所述恢复叉指电极，其中一个恢复叉指电极用于将所述声表面波的机械能转换为电能，并对电能进行恢复；另一个恢复叉指电极用于将所恢复的电能转换为用以生成驱动声表面波的机械能。

3.如权利要求2所述的声表面波马达，其中所述相位调节装置由连接在一个所述恢复叉指电极与另一个所述恢复叉指电极之间的电子电路构成。

4.如权利要求2所述的声表面波马达，其中基于所述声表面波基底的一区域的长度来设置所述相位调节装置，其中该区域位于所述恢复叉指电极的其中之一与所述驱动叉指电极的其中之一之间并且所述滑动器在该区域中移动，该长度被设置为在没有配置所述滑动器的情况下用以生成共振态的声表面波的长度加上另一长度的总长度，该另一长度与由于在该区域中配置所述滑动器而在所述共振态的声表面波中产生的相位改变量相对应。

5.如权利要求1所述的声表面波马达，具有至少一对所述恢复叉指电极，其中一个所述恢复叉指电极用于反射所述声表面波并使其返回至所述驱动叉指电极，以恢复所述声表面波的能量；另一个所述恢复叉指电极用于再次反射所返回的声表面波，以生成驱动声表面波。

6.如权利要求5所述的声表面波马达，其中用作起驱动作用的叉指电极的恢复叉指电极共同用作所述驱动叉指电极。

7.如权利要求5或6所述的声表面波马达，其中基于一对所述恢复叉指电极的等效反射表面之间的长度设置所述相位调节装置，其中该长度基本等于由所述恢复叉指电极生成的声表面波的半波长的整数倍。

8.如权利要求5或6所述的声表面波马达，其中所述相位调节装置由与位于所述驱动声表面波的行进方向前方的恢复叉指电极连接的电子电路构成，其中通过设置所述电子电路的阻抗来调节由该叉指电极反射的反射波的相位。

9.如权利要求7或8所述的声表面波马达，其中通过以下方式的至少其中之一调节由所述恢复叉指电极反射的反射波的反射率，所述方式包括：调节该叉指电极的单元电极之间的距离；调节该叉指电极的单元电极的个数；和调节施加至该滑动器的压力的大小。

10.如权利要求7或8所述的声表面波马达，其中所述恢复叉指电极连接有通过设置阻抗来调节由该叉指电极反射的反射波的反射率的电子电路。

11.如权利要求10所述的声表面波马达，其中所述驱动叉指电极配置在所述声表面波基底的表面上且位于所述驱动声表面波的行进方向的前方和后方，其中所述声表面波马达包括用以选择性地将所述外部电源连接至任一所述驱动叉指电极的开关和用以将所述电子电路连接至一对所述恢复叉指电极中的任一个的开关，使得通过这些开关来切换所述驱动声表面波的行进方向。

12.如权利要求11所述的声表面波马达，其中所述驱动叉指电极位于一对所述恢复叉指电极之间，并且都不经由所述开关连接至所述外部电源；通过使用所述开关将所述电子电路选择性地连接至一对所述恢复叉指电极中的任一个，以切换所述驱动声表面波的行进方向。

13.如权利要求10所述的声表面波马达，其中所述电子电路的阻抗可变。