[发明专利]测量射束角的方法

权利要求书

1.一种离子注入系统，包括：

可运作来形成离子束的离子注入机；

测量装置，其具有与其相关的平面，该测量装置又包括：

第一细长传感器，其中，第一细长传感器沿着测量装置的平面在第一方向延伸，且其中，第一细长传感器可运作来感测离子束的一个或多个特性；以及

第二细长传感器，其中，第二细长传感器沿平面相对于第一细长传感器成倾斜角度延伸，且其中，该第二细长传感器进一步可运作来感测离子束的一个或多个特性；

平移机构，其可运作地耦接到离子注入机及测量装置，其中，平移机构可运作以在大致上垂直于第一细长传感器且大致上平行于该平面的方向来平移测量装置通过离子束路径；以及

控制器，其被配置为控制平移机构并且接收所感测的离子束的一个或多个特性，其中，该控制器可运作以根据，至少部分地根据，测量装置的位置以及由第一传感器及第二传感器所感测的离子束的一个或多个特性来确定离子束相对于测量装置的平面的第一射束角度和第二射束角度。

2.权利要求1的系统，其中，第一细长传感器及第二细长传感器各包括狭缝法拉第元件(Slot Faraday)。

3.权利要求1的系统，其中，第二细长传感器的长度大于或大致等于第一细长传感器的长度。

4.权利要求1的系统，其中，倾斜角度的范围介于与第一细长传感器相距三十至六十度之间。

5.权利要求1的系统，其中，平移机构包括步进马达，其中，步进马达可运作来提供信号到控制器，指示测量装置的位置。

6.权利要求1的系统，其中，平移机构可运作以恒定速率平移测量装置，其中，测量装置的位置由控制器根据该恒定速率下所经过的时间来确定。

7.权利要求1的系统，其中，离子注入机包括保持工件的基座或夹盘，且其中，平移机构进一步可运作地耦接到基座或夹盘。

8.权利要求1的系统，其中，测量装置的平面通常由测量装置的表面所定义，且其中，第一传感器及第二传感器可运作地耦接到测量装置的表面。

9.一种离子束角度测量装置，其包括：

第一细长传感器，其中，第一细长传感器沿着测量装置的平面在第一方向延伸，且其中，第一细长传感器可运作来感测离子束的一个或多个特性；

第二细长感测器，其中，第二细长传感器沿着测量装置的平面相对于第一细长传感器成倾斜角度延伸，且其中，第二细长传感器进一步可运作来感测离子束的一个或多个特性；以及

平移机构，其可运作地耦接到测量装置，其中，平移机构可运作以大致上垂直于第一细长传感器且大致上平行于该平面的方向来平移测量装置通过离子束路径。

10.权利要求9的装置，其中，第一细长传感器及第二细长传感器各包括狭缝法拉第元件。

11.权利要求9的装置，其中，第二细长传感器的长度大于或大致等于第一细长传感器的长度。

12.权利要求9的装置，其中，倾斜角度的范围介于与第一细长传感器相距三十至六十度之间。

13.权利要求9的装置，其中，平移机构包括步进马达，其中，步进马达可运作来提供指示测量装置的位置的信号。

14.权利要求9的装置，还包括用以保持工件的基座或夹盘，且其中，基座或夹盘还可运作地耦接到平移机构。

15.权利要求9的装置，其中，测量装置的平面通常由测量装置的表面所定义，且其中，第一传感器及第二传感器可运作地耦接到测量装置的表面。