[发明专利]微波发生装置和微波发生方法

权利要求书

1.一种微波发生装置，其特征在于，具有：

开关信号发生部，发生具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号；

开关功率放大部，根据所述开关信号，进行开关功率放大，输出放大信号；

可变电压供给部，能够可变地将放大用的驱动电压供给所述开关功率放大部；

微波选择部，用于从所述放大信号取出频率与所述开关信号的基本频率相同的正弦波信号，作为微波输出；

输出信号检测部，检测所述微波；和

驱动电压控制部，根据所述输出信号检测部的检测结果，控制所述可变电压供给部。

2.一种微波发生装置，其特征在于，具有：

开关信号发生部，发生具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号；

开关功率放大部，根据所述开关信号，进行开关功率放大，输出放大信号；

可变电压供给部，能够可变地将放大用的驱动电压供给所述开关功率放大部；

微波选择部，用于从所述放大信号取出频率与所述开关信号的基本频率相同的正弦波信号，作为微波输出；

光检测部，检测由所述微波产生的等离子体的发光；和

驱动电压控制部，根据所述光检测部的检测结果，控制所述可变电压供给部。

3.如权利要求1或2所述的微波发生装置，其特征在于，

所述微波选择部由具有高Q值的带通滤波器或谐振器构成。

4.如权利要求3所述的微波发生装置，其特征在于，

所述带通滤波器由选自表面弹性波滤波器、管状滤波器、波导管滤波器、集总元件滤波器和空腔滤波器中的一种构成。

5.一种微波发生装置，其特征在于，具有：

开关信号发生部，发生具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号；

开关功率放大部，根据所述开关信号，进行开关功率放大，输出放大信号；

可变电压供给部，能够可变地将放大用的驱动电压供给该开关功率放大部；

光检测部，检测由所述放大信号产生的等离子体的发光；和

驱动电压控制部，根据所述光检测部的检测结果，控制所述可变电压供给部。

6.如权利要求1～5中任一项所述的微波发生装置，其特征在于，

所述开关功率放大部由HEMT和/或HBT构成。

7.如权利要求1～6中任一项所述的微波发生装置，其特征在于，

所述基本频率为2.45GHz。

8.一种微波供给装置，其特征在于，具有：

权利要求1～7中任一项所述的微波发生装置；

通过传送线路与所述微波发生装置连接的匹配电路；和

通过传送线路与所述匹配电路连接，放射微波的天线部。

9.如权利要求8所述的微波供给装置，其特征在于，

所述天线部设定为：相对于从所述微波发生装置供给的微波为高Q值。

10.一种等离子体处理装置，其特征在于，具有：

能够抽真空的处理容器；

用于载置被处理体并设置在所述处理容器内的载置台；

用于将规定的气体供给至所述处理容器内的气体供给单元；

用于将微波导入所述处理容器内，制造等离子体的权利要求8或9所述的微波供给装置；和

控制微波供给装置的装置控制单元。

11.一种微波发生方法，其特征在于，

利用放大用的驱动电压，对具有微波频带的基本频率的矩形波状的开关信号进行开关功率放大，形成放大信号，从该放大信号取出频率与所述开关信号的基本频率相同的正弦波信号，作为微波输出，

该微波发生方法包括：

检测所述微波的工序；和

根据所述检测值，可变地控制进行所述开关功率放大时的放大用的驱动电压的工序。