[发明专利]共振扫描反射镜的偏转控制

权利要求书

1.一种用于控制共振扫描结构的偏转的方法，其包括如下步骤：

产生第一能量驱动脉冲并将其施加到所述扫描结构以致使所述扫描结构围绕扭转铰链振荡；

贯穿包含所述扫描结构共振频率在内的频率范围改变所述第一能量驱动脉冲的频率；

确定所述扫描结构何时达到所选偏转角或振幅值；

中断对所述扫描结构施加所述第一能量驱动脉冲；

确定所述扫描结构的共振频率；

产生处于所述共振频率或处于将所述扫描结构的振荡维持在其共振频率的所选频率的第二能量驱动脉冲并将其施加到所述扫描结构；且

调节所述第二能量驱动脉冲的工作循环，直到所述扫描装置到达第二偏转角或振幅值。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述扫描结构为扫描反射镜。

3.如权利要求1所述的方法，其进一步包括：连续产生并施加具有所述所选频率及所述所调节工作循环的所述第二能量驱动脉冲；及连续调节所述第二能量驱动脉冲的工作循环以维持所述第二偏转角或振幅值。

4.如权利要求1或3所述的方法，其中所述所选频率偏离所述振荡结构的共振频率以补偿所述结构的相移。

5.如权利要求1或3所述的方法，其进一步包括：

确定所述偏转振幅是否超过第三所选值；

如果所述偏转振幅超过所述第三所选值，则中断对所述扫描结构施加能量驱动脉冲并允许所述偏转振幅衰减到较低的偏转振幅；且然后

产生并施加具有所述所选频率及小于所述所调节工作循环的工作循环的新的第二能量驱动脉冲。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述第一偏转振幅值小于所述第二偏转振幅值。

7.如权利要求1或3所述的方法，其进一步包括在临近所述振荡结构偏转的末端处提供传感器以便所述传感器提供一对电脉冲，所述对脉冲的第一脉冲代表所述振荡结构在其沿第一方向行进时的位置，且所述对脉冲的第二脉冲代表所述结构在其停止并反转其行进方向后的相同位置。

8.如权利要求7所述的方法，其中通过监控所述对脉冲之间的间隔来确定所述扫描结构的所述偏转振幅。