[发明专利]导电性接触器保持器及导电性接触器单元

说明书

技术领域

本发明涉及一种为了对半导体集成电路等的预定电路结构进行通电检查而收容多个导电性接触器的导电性接触器保持器、以及在该导电性接触器保持器内收容多个导电性接触器所形成的导电性接触器单元。

背景技术

以往，作为对半导体集成电路等的预定电路结构进行通电检查的技术，公知有一种按照与该电路结构具有的外部连接用电极对应的方式配设多个导电性接触器(接触探针)的导电性接触器单元相关的技术(例如，参照专利文献1)。该导电性接触器单元具备：多个导电性接触器、将该多个导电性接触器收容于预定位置的导电性接触器保持器、及与多个导电性接触器电连接的检查电路。

对于这样的导电性接触器单元，随着近年来半导体集成电路的小型化或动作的高速化，已要求以小型可高速动作的技术。尤其，在实现以高频率进行驱动的电路结构所对应的导电性接触器单元时，需要以高精度进行阻抗匹配，以使构成传输路径的一部分的导电性接触器的特性阻抗与电路结构的特性阻抗相匹配。

专利文献1：特开2002-124552号公报

发明内容

然而，为了实现以高频率进行驱动的电路结构所对应的导电性接触器单元，必须缩小用于电信号输出输入的导电性接触器的直径。因此，作为细径状的导电性接触器可适用的导电性接触器保持器或导电性接触器单元整体，可能在其强度及耐久性存在问题。

本发明是鉴于上述问题而作成的，其目的在于提供一种即使在检查对象的电路结构传输高频信号时也可对应的、且强度及耐久性优异的导电性接触器保持器及导电性接触器单元。

为了解决上述课题且达成目的，本发明的一态样的导电性接触器保持器，至少收容用于对预定的电路结构进行信号输入输出的信号用导电性接触器，其特征在于，该导电性接触器保持器具备：保持器基板，其由导电性材料形成，且形成有用于收容上述信号用导电性接触器的第1开口部；及保持构件，其由绝缘性材料形成，被插入于上述第1开口部，且至少保持一个上述信号用导电性接触器。其中，上述保持构件的表面即与该导电性接触器保持器的表面平行的表面的最大外径，比被收容于该导电性接触器保持器的上述信号用导电性接触器的轴线相互之间的最接近间隔更大。

再且，本发明的另一态样的导电性接触器保持器，至少收容用于对预定电路结构进行信号输入输出的信号用导电性接触器、以及用于对上述电路结构进行接地电位供给的接地用导电性接触器，其特征在于，该导电性接触器具备：保持器基板，其由导电性材料形成，且形成有用于收容上述信号用导电性接触器的第1开口部、以及用于维持与上述接地用导电性接触器的电连接并且收容上述接地用导电性接触器的第2开口部；及保持构件，其由绝缘性材料形成，被插入于上述第1开口部内，且保持至少一个上述信号用导电性接触器。其中，上述保持构件的表面即与该导电性接触器保持器的表面平行的表面的最大外径，比被收容于该导电性接触器保持器的上述信号用导电性接触器的轴线相互之间的最接近间隔更大。

再且，上述发明中，也可以上述保持构件是具有二个中空部的绝缘性眼镜形状构件，该二个中空部将一对上述信号用导电性接触器按照不相互接触且相互的轴线呈平行的方式保持。

再且，上述发明中，也可以上述保持器基板具备：第1基板，形成有分别对应上述第1开口部及上述第2开口部的第4开口部及第5开口部；及第2基板，形成有分别对应上述第1开口部及上述第2开口部的第7开口部及第8开口部，按照上述第7开口部与上述第4开口部连通且上述第8开口部与上述第5开口部连通的方式，相对于上述第1基板被固定。上述绝缘性眼镜形状构件具有：被插入于上述第4开口部的第1眼镜形状构件；以及形状与该第1眼镜形状构件相同被插入于上述第7开口部的第2眼镜形状构件。

再且，上述发明中，也可以上述第1及第2眼镜形状构件，在一方端部分别形成止脱凸缘，并且按照上述止脱凸缘位于上述第1基板与上述第2基板的境界侧的方式分别被插入于上述第4开口部及第7开口部。

再且，上述发明中，也可以还具备导电性管构件，其由导电性材料形成，被插入于上述第2开口部且保持上述接地用导电性接触器。

再且，上述发明中，也可以上述保持器基板还具备第3开口部，其收容用于对上述电路结构进行电力供给的供电用导电性接触器，在上述第3开口部中，插入有由绝缘性材料形成的、用于保持上述供电用导电性接触器的绝缘性管构件。