[发明专利]缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的方法

说明书

技术领域

本发明涉及缩小存在于玻璃板、特别是显示器用玻璃基板、尤其是平板显示器用玻璃基板和作为光刻掩模使用的玻璃板的内部的泡的直径的方法。通过本发明的方法，可以提高作为显示器用的玻璃基板使用的玻璃板的辨识性。此外，通过本发明的方法，可以解决泡的存在引起的光刻掩模的缺陷。

背景技术

现在，玻璃板被用作许多领域的开口部件，例如显示器用玻璃基板，特别是液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器用玻璃基板，住宅、大厦等建筑物的窗玻璃或者汽车、火车、航空器、船舶等运输工具的窗玻璃等。这样的玻璃板使用浮法、熔融法或下引法由熔融玻璃成形。此外，通过对一次成形的玻璃板进行再拉伸加工而得到。

存在于这些玻璃板内部的泡由于妨碍辨识性而造成问题。例如，显示器用的玻璃基板使用厚3mm以下的薄板玻璃，如果薄板玻璃中存在一定尺寸以上的泡，显示器的画面上产生白缺陷，妨碍显示器的辨识性。此外，作为光刻掩模使用厚7mm以下的玻璃板，玻璃板中存在一定尺寸以上的泡的情况下，成为该光刻掩模的缺陷。

将原料批在熔融过程中玻璃化时，放出CO₂、H₂O、O₂、SO₂等气体，所述气体的一部分作为泡存在于熔融玻璃中。成形为玻璃板时，存在于熔融玻璃中的泡被沿水平方向拉伸，形成椭圆形状。椭圆形状的泡与被拉伸前的球状泡相比，泡的最大直径变大，因此特别是对玻璃板的辨识性产生不良影响。

以往，为了降低存在于玻璃板内部的泡的量，实施熔解槽的结构和其内部的搅拌机构的改良、抑制泡的产生和成长的组成的选择、或者抑制泡的产生和成长的微量添加物的添加等方法。然而，通过这些方法，虽然可以使存在于玻璃板内部的泡的量降低，但是难以使泡的量无限接近于0。此外，装置的改良和玻璃组成改变方面实际上存在许多研究课题，这些相应地反映在玻璃板的制造成本上。此外，由于这些方法的实施，产生了玻璃制造受到妨碍等问题。

专利文献1中揭示了光刻掩模用玻璃的缺陷修复方法，其特征在于，在除去存在于光刻掩模用玻璃中的微量缺陷后，在曾经存在该缺陷的位置填充玻璃小片和液状固化性树脂。然而，该方法由于在通过钻头等削去了微量缺陷的位置填充玻璃小片和液状固化性树脂，因此操作麻烦。例如，为了填充通过钻头削去了的位置，必须准备所需尺寸的玻璃小片。此外，填充玻璃小片和液状固化性树脂后，为了实现所需的平坦度，需要光刻掩模表面的研磨操作。这些问题在修复存在于玻璃薄板的厚度方向的中心附近的缺陷时特别显著。另外，难以使填充了玻璃小片和液状固化性树脂的部分与其它部分的光学特性完全一致，填充了玻璃小片和液状固化性树脂的部分可能会形成新的缺陷。

专利文献1：日本专利特开平10-239828号公报

发明的揭示

本发明是为了解决如上所述的课题而提出的，其目的在于提供缩小存在于玻璃板、特别是显示器用玻璃基板、尤其是平板显示器用玻璃基板和作为光刻掩模使用的玻璃板的内部的泡的直径的新方法。

为了实现上述的目的，本发明提供的缩小存在于玻璃板内部的泡的直径的方法的特征在于，从光源向前述存在于玻璃板内部的泡的周围照射光线，使前述泡的周围的玻璃的温度达到该玻璃的软化点以上，从而缩小前述泡的最大直径。

理想的是，前述光线的照射后，前述存在于玻璃板内部的泡的最大直径在400μm以下。

更理想的是，前述光线的照射后，前述存在于玻璃板内部的泡的最大直径在20μm以下。

本发明的方法中，前述光线较好是激光光线。

前述激光光线较好是波长为0.1～11μm，前述玻璃板的表面的该光线的最大直径为0.02～5mm。

前述激光光线较好是选自CO₂激光光线、YAG激光光线、半导体激光光线、掺稀土元素光纤激光光线和YVO₄激光光线的至少1种。

本发明的方法中，前述玻璃板的表面的前述光线的最大直径D不到4mm的情况下，较好是以从前述泡和前述玻璃的交界面到前述光线的光轴的最短距离S满足0≤S≤2mm的条件照射前述光线。

本发明的方法中，前述玻璃板的表面的前述光线的最大直径D在4mm以上的情况下，较好是以从前述泡和前述玻璃的交界面到前述光线的光轴的最短距离S满足0≤S≤0.5D的条件照射前述光线。

本发明的方法中，理想的是在前述光线的照射前，存在于前述玻璃板内部的满足下述式(1)的泡的50％以上满足下述式(2)。