[发明专利]光固化性组合物、精细图案形成体及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及光固化性组合物、精细图案形成体及其制造方法。

背景技术

近年来，使表面具有精细图案的模具按压于基板，制造表面具有该精细图案的反转图案的基板的方法，即纳米压印(nanoimprint technique)法正倍受注目。其中以下的制造方法受到关注，即，将光固化性组合物压夹在基板的表面与模具的图案面之间，接着，通过光照射使光固化性组合物中的单体聚合，得到由具有转印了模具的精细图案的表面的固化物所形成的精细图案形成体，再将模具从固化物剥离，制造与基板一体的精细图案形成体的方法(参考专利文献1和2)。

作为用于该方法的光固化性组合物，已知由至少1种的(甲基)丙烯酸酯类、光聚合引发剂以及含有含氟有机硅烷的表面活性剂形成的光固化性组合物(参考专利文献3)。

【专利文献1】日本专利特表2004-504718号公报

【专利文献2】日本专利特表2002-539604号公报

【专利文献3】日本专利特开2004-002702号公报

发明内容

但是专利文献3中关于光固化性组合物中表面活性剂的含量，只记载了为了防止该光固化性组合物的相分离应充分低。实际上，该含量在0.1质量％以下。这种情况下，光固化性组合物的固化物的脱模性不充分，该固化物难以从模具顺利剥离。因此，认为难以制造高精度的精细图案形成体。另外，专利文献3中没有记载不引起光固化性组合物的相分离的同时提高表面活性剂的含量的方法。因此，希望得到可以高效制得高精度的精细图案形成体的光固化性组合物。

本发明者发现，以各特定量含有特定的不含氟原子的单体、含氟单体、含氟表面活性剂及/或含氟聚合物、以及光聚合引发剂的组合物相溶形成光固化性组合物，而且该光固化性组合物的固化物可以从模具顺利剥离。于是发现了，使用该光固化性组合物、基板以及表面具有精细图案的模具，可以高效制造高精度精细图案形成体。

即，本发明的要旨如下。

[1]：光固化性组合物，其特征在于，含有25℃时粘度为0.1～100mPa·s的不含氟原子的单体50～98质量％、含氟单体0.1～45质量％、含量大于0.1质量％且小于等于20质量％的含氟表面活性剂及/或含氟聚合物、以及光聚合引发剂1～10质量％，且实质上不含溶剂。

[2]：如[1]所述的光固化性组合物，其中，上述光固化性组合物中，含氟单体的量相对于含氟表面活性剂和含氟聚合物的总量为1～100倍质量。

[3]：如[1]或[2]所述的光固化性组合物，其中，上述光固化性组合物在25℃时的粘度为0.1～200mPa·s。

[4]：精细图案形成体的制造方法，其特征在于，使[1]～[3]中任一项所述的光固化性组合物与表面具有精细图案的模具的具有该精细图案的表面接触，接着，以使其与模具表面接触的状态使上述光固化性组合物光固化，之后，将光固化性组合物的固化物从模具剥离。

[5]：精细图案形成体的制造方法，其特征在于，使用[1]～[3]中任一项所述的光固化性组合物、基板以及表面具有精细图案的模具，通过依次进行下述工序A、下述工序B、下述工序C以及任选的下述工序D，得到表面具有精细图案的精细图案形成体或与基板一体的该精细图案形成体。

工序A：将光固化性组合物夹在基板的表面与模具的图案面之间，进行按压的工序。

工序B：通过光照射使光固化性组合物固化，得到由固化物形成的精细图案形成体的工序，该固化物具有转印了模具的精细图案的表面。

工序C：将模具和基板的至少一方从固化物剥离，得到精细图案形成体、与基板一体的精细图案形成体或者与模具一体的精细图案形成体的工序。

工序D：上述工序C中得到与模具一体的精细图案形成体时，将模具与精细图案形成体剥离的工序。

[6]：如[4]或[5]所述的精细图案形成体的制造方法，其中，上述模具的精细图案是具有凸部和凹部的精细图案，该凸部的间隔的平均值为1nm～500μm。

[7]：精细图案形成体的制造方法，其特征在于，使[1]或[2]所述的光固化性组合物与表面具有精细图案的模具的具有该精细图案的表面接触，接着，剥离模具，制造具有转印了模具的精细图案的表面的光固化性组合物的成形体，之后使上述光固化性组合物的成形体光固化。