[发明专利]流体控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及用于半导体制造装置等的流体控制装置，尤其涉及由多个流体控制器集成而形成的流体控制装置。

背景技术

在用于半导体制造装置的流体控制装置中，多个流体控制器串联配置，互相之间不通过管道或连接器直接连接，将由此形成的多条管线并列设置在基体部件上，这种集成化手段得到了发展，专利文件1公开了这样的流体控制装置，其通过外螺纹部件将作为下段层的多个块状连接器部件安装在基体部件上，并以跨过邻接的连接器部件的方式安装作为上段层的多个流体控制器。

专利文献1：日本特开平10-227368号公报。

上述专利文件1的流体控制装置具有可以减小装置占据的空间和通路容积的优点，但是由于其零件数量多，存在组装费时的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种流体控制装置，在装置占据空间和通路容积方面保持了与现有技术相同的性能的同时，削减零件数量实现降低成本并提高组装操作效率。

技术方案一的流体控制装置，其特征在于，具有多个流体控制器和支承部件，所述多个流体控制器具有形成有通路的块状主体，所述支承部件支承被串联配置的多个流体控制器，支承部件的两端部上设有突起部，多个流体控制器的主体以其通路开口之间互相抵接的方式设置在支承部件的突起部之间，通过在任何一方的突起部上旋入在长度方向上贯通该突起部的主体固定用外螺纹部件，将多个流体控制器的主体固定在支承部件上。

技术方案二的流体控制装置，其特征在于，包括调整流体压力或流量的调整器、设在调整器入口侧的入口侧阻断开放器、设在调整器出口侧的出口侧阻断开放器，入口侧阻断开放器具有多个流体控制器和入口侧支承部件，所述多个流体控制器具有形成有通路的块状主体，所述入口侧支承部件支承被串联配置的多个流体控制器，所述出口侧阻断开放器具有多个流体控制器和出口侧支承部件，所述多个流体控制器具有形成有通路的块状主体，所述出口侧支承部件支承被串联配置的多个流体控制器，各支承部件的两端部上设有突起部，多个流体控制器的主体以其通路开口之间互相抵接的方式设置在各支承部件的突起部之间，通过在入口侧支承部件的远离调整器侧端部的突起部上旋入在长度方向上贯通该突起部的主体固定用外螺纹部件，将调整器入口侧的多个流体控制器的主体安装在入口侧支承部件上，并且，通过在出口侧支承部件的远离调整器侧端部的突起部上旋入在长度方向上贯通该突起部的主体固定用外螺纹部件，将调整器出口侧的多个流体控制器的主体安装在出口侧支承部件上。

流体控制装置的一条管线，例如，由作为调整器的质量流量控制器和分别设于质量流量控制器的入口侧和出口侧并开闭控制流体出入的阻断开放器构成，其中阻断开放器部分为上述技术方案一的流体控制装置。阻断开放器包括作为流体控制器的至少一个开闭阀，除此之外还可适当地具有过滤器、调节器、通路块等流体控制器。例如，对于配置在入口的入口管连接器连接用通路块，可视之为流体控制器之一，对于该通路块上与一个或两个入口管连接器成为一体的流体导入用部件，可视之为流体控制器之一。

突起部的高度可以与主体的高度相同，也可以比主体的高度低。

在技术方案一和技术方案二的流体控制装置中，流体控制器的主体上，例如，形成有一个或者一对L字形通路，邻接的流体控制器主体的通路开口之间通过密封部抵接。开闭阀，以在其主体上安装阻断或开放这些通路的连通的执行元件的方式形成，上述主体上形成有长度方向(管线的方向)的通路开口相互逆向的一对L字形通路。作为调整器的一例的质量流量控制器，其由质量流量控制器主体以及在其入口侧和出口侧呈伸出状设置的辅助通路块组成，质量流量控制器的各辅助通路块由形成L字形通路的质量流量控制器连接用通路块支承。该情况下的质量流量控制器连接用通路决为只由形成有通路的块状主体组成的流体控制器。

在技术方案二所述的流体控制装置中，优选调整器由调整器主体以及在其入口侧和出口侧呈伸出状设置的辅助通路块组成，在调整器入口侧和出口侧的多个流体控制器中与调整器最接近的分别为调整器连接用通路块，调整器的各辅助通路块优选由调整器连接用通路块支承并由从上方向下的调整器固定用外螺纹部件安装在该调整器连接用通路块上。这样，由支承部件支承的多个流体控制器，可在原样的状态下，仅调整器可拆装。