[发明专利]准分子灯

权利要求书

1.一种准分子灯，其至少具有设置在光射出侧的光发射窗和多个彼此相对的准分子放电电极，并且具有这样的结构：在所述相对的电极之间形成的放电空间中的准分子放电气体产生放电，从而发射准分子光，

所述准分子放电电极是平板电极，

设置了多个所述放电空间，每一个所述放电空间在平板电极之间，

与所述放电空间的放电通道平行地设置所述光发射窗。

2.根据权利要求1所述的准分子灯，其中，所述平板电极通过一个或多个电介质彼此相对。

3.根据权利要求2所述的准分子灯，其中，所述平板电极的表面覆盖有电介质材料。

4.根据权利要求2所述的准分子灯，其中，所述平板电极与由电介质材料形成的板的主表面邻接，并且所述板的另一个主表面与所述放电空间邻接。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的准分子灯，其中，所述准分子放电电极具有紫外线反射功能。

6.根据权利要求2～4中任一项所述的准分子灯，其中，在所述一个或多个电介质的主表面上形成的反射镜具有紫外线反射功能。

7.一种准分子灯，其包括：

发光单元，其具有用于发射准分子光的放电室；以及

灯室，其在内部容纳所述发光单元，并且具有设置在光射出侧的光输出窗，

其中，在所述发光单元的所述放电室中充入放电气体，在所述发光单元的所述放电室的外壁和所述灯室的内壁之间充入惰性气体，

所述放电气体和所述惰性气体中的每个都具有1大气压或更大的压力，并且被调整为保证这两个压力之间的差的绝对值是0.3大气压或更小。

8.根据权利要求7所述的准分子灯，其中，所述发光单元具有由并列布置的多个放电单元构成的放电室，

用于准分子放电的多个平板电极，所述多个平板电极彼此相对，并与所述放电单元的主表面相接触，

所述放电室具有与所述放电室的放电通道平行地设置的光发射窗，以及

充入所述放电室的所述放电气体产生放电，从而发射准分子光。

9.根据权利要求7所述的准分子灯，其中，所述放电室还具有贯穿所述多个放电空间的放电气体流通孔。

10.根据权利要求7～9中任一项所述的准分子灯，其中，所述发光单元具有用于将放电气体从所述灯室外部引入所述放电空间的放电气体流通路，以及

所述灯室具有用于将惰性气体从所述灯室外部引入所述灯室的惰性气体流通路。