[发明专利]笛卡尔机械臂群集工具架构

权利要求书

1.一种处理一基材的群集工具，其至少包含：

一第一制程架，含有：

一第一组两个或多个垂直堆迭的制程腔室；以及

一第二组两个或多个垂直堆迭的制程腔室，其中该第一及第二组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的一第一侧；

一第一机械臂组件，适于传送一基材至该第一制程架中的基材制程腔室，其中该第一机械臂组件包含：

一第一机械臂，具有一机械臂叶片及位于其上的一基材容纳表面，其中该第一机械臂界定一传送区域，并且适于将一基材设置在通常容纳于一第一平面内的一或多个点上，其中该第一平面与该第一方向以及和该第一方向垂直的一第二方向平行；

一第一移动组件，适于将该第一机械臂设置在通常与该第一平面垂直的一第三方向上；以及

一第二移动组件，适于将该第一机械臂设置在通常与该第一方向平行的一方向上；

其中当该基材被设置在该机械臂叶片的基材容纳表面上时，该传送区域的宽度与该第二方向平行且比该第二方向的基材尺寸大约5％至约50％间。

2.如权利要求1所述的群集工具，其中上述的机械臂组件更包含：

一第二机械臂，具有拥有一基材容纳表面的机械臂叶片，其中该第二机械臂适于将一基材设置在通常容纳于一第二平面内的一或多个点上，其中该第一平面和该第二平面分开一段距离。

3.如权利要求1所述的群集工具，其中上述的第一移动组件更包含：

一促动器组件，适于垂直设置该第一机械臂，其中该促动器组件更包含：

一垂直促动器，适于垂直设置该第一机械臂；以及

一垂直滑轨，当其由该垂直促动器调动时适于引导该第一机械臂；

一围封，具有一内部区域，其围绕至少一个是选自由该垂直促动器和该垂直滑轨组成的一群组的零组件；以及

一风扇，与该内部区域流体交流，其是适于在该围封内部产生负压。

4.如权利要求1所述的群集工具，其中上述的群集工具更包含：

一第二制程架，含有：

一第一组两个或多个垂直堆迭的制程腔室；以及

一第二组两个或多个垂直堆迭的制程腔室，其中该第一及第二组的两个或多个基材制程腔室具有沿着一第一方向排列的一第一侧；

一第二机械臂组件，适于传送一基材至该第二制程架中的基材制程腔室，其中该第二机械臂组件包含：

一第二机械臂，具有一第二机械臂叶片及位于其上的一基材容纳表面，其中该第二机械臂界定一传送区域，并且适于将一基材设置在通常容纳于一第二平面内的一或多个点上，其中该第二平面与该第一方向以及和该第一方向垂直的一第二方向平行；

一第一移动组件，具有一促动器组件，适于将该第二机械臂设置在通常与该第二平面垂直的一第三方向上；以及

一第二移动组件，具有一促动器组件，适于将该第二机械臂设置在通常与该第一方向平行的一方向上；

其中当该基材被设置在该第二机械臂叶片的基材容纳表面上时，该第二传送区域的宽度与该第二方向平行且比该第二方向的基材尺寸大约5％至约50％间。

5.如权利要求4所述的群集工具，其中上述的群集工具更包含：

一第三机械臂组件，适于传送一基材至该第一制程架和该第二制程架中的基材制程腔室，其中该第三机械臂组件包含：

一第三机械臂，具有一第三机械臂叶片及位于其上的一基材容纳表面，其中该第三机械臂界定一传送区域，并且适于将一基材设置在通常容纳于一第三平面内的一或多个点上，其中该第三平面与该第一方向以及和该第一方向垂直的一第二方向平行；

一第一移动组件，具有一促动器组件，适于将该第二机械臂设置在通常与该第三平面垂直的一第三方向上；以及

一第二移动组件，具有一促动器组件，适于将该第二机械臂设置在通常与该第一方向平行的一方向上；

其中当该基材被设置在该第三机械臂叶片的基材容纳表面上时，该第三传送区域的宽度与该第二方向平行且比该第二方向的基材尺寸大约5％至约50％间。