[发明专利]非接触静电驱动的MEMS器件

权利要求书

1.一种微机电器件，包括：

衬底；

形成在所述衬底上的第一电极，所述第一电极具有多个隔开的延伸部，所述延伸部从所述第一电极的相对侧延伸，所述隔开的延伸部限定了多个散置在所述延伸部中的凹槽；

一对附加的电极，其形成在所述衬底上，邻近所述第一电极的所述相对侧，所述附加的电极具有位于所述凹槽内的多个隔开的延伸部，所述凹槽限定在所述第一电极的相对侧。

2.根据权利要求1所述的器件，进一步包括操作地固定于所述衬底的轭状物。

3.根据权利要求2所述的器件，进一步包括操作地固定于所述轭状物的镜子。

4.根据权利要求3所述的器件，所述轭状物具有形成于其中的凹槽，并且所述镜子具有向下延伸的柱，用于与形成在所述轭状物中的所述凹槽接合。

5.根据权利要求1到4中任一项所述的器件，其中所述多个延伸部中的至少一个延伸部具有多边形的几何形状。

6.一种微机电器件，包括：

衬底；

形成在所述衬底上的第一电极，所述第一电极具有从所述第一电极的第一部分延伸的至少一个延伸部和从所述第一电极的第二部分延伸的至少一个延伸部，所述第二部分与所述第一部分大体相对；

形成在所述衬底上的第二电极，其大体邻近所述第一电极的所述第一部分，所述第二电极具有向所述第一电极延伸的至少一个延伸部；以及

形成在所述衬底上的第三电极，其大体邻近所述第一电极的所述第二部分，所述第三电极具有向所述第一电极延伸的至少一个延伸部。

7.一种减少与微机电器件的操作相关的静摩擦的方法，包括：

形成微机电器件以包括第一电极和位于所述第一电极两侧的一对电极，所述第一电极与这对电极经由多个延伸部对接，所述多个延伸部位于限定在这对电极中的多个凹槽内；

由此，在所述第一电极和这对电极之间的界面处所限定的表面积产生足够大的静电力，以克服与所述微机电器件的操作相关的表面附着力。