[发明专利]用玻璃料气密密封的玻璃封装物及其制造方法

权利要求书

1.一种制造气密密封的玻璃封装物的预制件的方法，该方法包括：

在玻璃基片上沉积玻璃料，该玻璃料包含65-100重量％的基质玻璃和0-35 重量％的填料；

其中，基质玻璃包含：

0-5摩尔％ K₂O；

0-35摩尔％ Sb₂O₃；

0-20摩尔％ ZnO；

10-40摩尔％ P₂O₅；

10-60摩尔％ V₂O₅；

0-5摩尔％ TiO₂；

0-5摩尔％ B₂O₃；

0-5摩尔％ SiO₂；

0-5摩尔％ WO₃；及

1-10摩尔％选自下组的金属氧化物：Fe₂O₃、Nd₂O₃、La₂O₃、Ce₂O₄、Pr₆O₁₁、 Er₂O₃和CeO₂；

其中，基质玻璃的平均粒度分布小于3微米，

填料的平均粒度分布为3-7微米。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，基质玻璃包含1-5摩尔％选自 下组的金属氧化物：Fe₂O₃、Nd₂O₃、La₂O₃、Ce₂O₄、Pr₆O₁₁、Er₂O₃和CeO₂。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括在390-415℃的 温度下对气密密封的玻璃封装物的预制件进行预烧结的步骤。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，预烧结是在氧化性低于空气的 气氛中进行。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，预烧结是在含10％O₂及90％惰性 气体的气氛中进行。

6.如权利要求3所述的方法，其特征在于，预烧结是在含5％O₂及95％惰性 气体的气氛中进行。

7.权利要求3所述的方法，其特征在于，预烧结是在惰性气体的气氛中进 行。

8.如权利要求3所述的方法，其特征在于，预烧结是在还原性气体的气 氛中进行。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，填料是CTE匹配的填料。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，填料是β-锂霞石。