[发明专利]集成板与流体器件的连接结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种集成板与流体器件的连接结构，更详细地讲，涉及一种将在半导体制造或医疗及医药品制造、食品加工、化学工业等各种技术领域的制造工序中使用的高纯度液体或超纯水、或者清洗液的管道系统等中预计今后需要的流体用的集成板，与泵、阀、储液器等流体器件经由垫圈以密封状态连通而连接用的连接结构。

背景技术

作为上述连接结构，例如存在使一对供排流道相互连通而将作为流体器件一例的阀与内部形成有流体通路的集成板相连而连接的结构，已知在专利文献1或专利文献2中公开的连接结构。在专利文献1中公开的连接结构，使一对供排流道接近配置，用多个螺栓通过各独立的环状的垫圈以密封不泄漏液体的方式相连连接，在专利文献2中公开的连接结构，使一对供排流道接近配置，仅用一个外螺纹螺母将具有与该一对供排流道相对应的一对流道孔的一个垫圈相连连接。

专利文献1或2所公开的连接结构均采用了使多个流体设备与流体部件集成而安装的结构、即所谓的集成管道结构，这从可实现管道系统整体的紧凑化和模块化方面来说是有用的。因此，为了进一步促进紧凑化或模块化，不用说要将单个流体器件小型化，在实现了该流体器件自身的紧凑化之后，可以预计到产生了对集成板与流体器件的连接结构紧凑化的要求。

另外，在专利文献1或2所公开的连接结构中，通过将夹持垫圈的一对凸缘部彼此用螺栓紧固直到达到规定的面压，可获取有效的密封性能。可是由于不可避免的是螺栓的紧固力随着时间会降低，为此，为了防止紧固力降低、即防止因转矩下降所致的连接部的泄漏，必须定期进行螺栓增紧作业。由于在使用垫圈密封时，需要非常高的紧固力，集成板或流体器件的流体供排口部需要高的强度，同时从该相连连接用的作业性方面考虑也存在不利。

专利文献1：日本特开2001-82609号公报；

专利文献2：日本特开平10-169859号公报。

发明内容

发明所要解决的技术问题

因此，本发明的第1目的在于为了促进使用具有上述优点的集成板的管道系统中的集成化而提供一种可进一步紧凑化的集成板与流体器件的连接结构，并实现了上述目的。本发明的第2目的是提供一种通过对流体的管道系统中的集成板与流体器件的连接结构进行改进，在几乎不用进行螺栓增紧作业就可维持良好的密封性的同时，也改善其装配作业性的集成板与流体器件的连接结构。

解决技术问题的方案

权利要求1的发明为，一种集成板与流体器件的连接结构，其特征在于，集成板1具有第1流体供排口部1A，该第1流体供排口部1A开口有同心状形成的管状的流体通路3a或环状的流体通路和一个以上的环状的流体通路4a，流体器件2具有第2流体供排口部2A，该第2流体供排口部2A开口有同心状形成的管状的流体通路7或环状的流体通路和一个以上的环状的流体通路8，将集成板1的所述第1流体供排口部1A与流体器件2的所述第2流体供排口部2A，通过使各自的多个流体通路3a、4a、7、8相对应、且在经由介于所述第1流体供排口部1A与所述第2流体供排口部2A之间的多个环状的垫圈G1、G2而使各流体通路3a、4a、7、8密封的状态下连通而连接，

在这种状态下，在所述第1流体供排口部1A以及第2流体供排口部2A上，在开口于各端面的所述各流体通路3a、4a、7、8的外径侧部分形成环状突起21、11、41、31；

所述各垫圈G1、G2由具有挠性的材料构成，且具有为了将所述第1、第2流体供排口部1A、2A的相对应的所述流体通路3a、4a、7、8相互连通而形成的流体路径W1、W2、以及为了与形成于所述第1和第2流体供排口部1A、2A的端面上的所述环状突起21、11、41、31分别嵌合而形成于所述流体路径W1、W2的外径侧部分的一对环状槽51、61；

具备维持机构I，该维持机构I维持着接合状态，该接合状态是使所述第1流体供排口部1A与所述第2流体供排口部2A隔着所述多个垫圈G1、G2而相互拉靠，所述第1流体供排口部1A的所述环状突起21、41与所述各垫圈G1、G2的一端的环状槽51、61嵌合，所述第2流体供排口部2A的所述环状突起11、31与所述各垫圈G1、G2的另一端的所述环状槽51、61嵌合，从而形成嵌合密封部10的状态，