[发明专利]用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备的物镜系统

权利要求书

1.一种用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备(10)的物镜系统(1，1’，1”)，该物镜系统(1，1’，1”)包含至少一个具有非球面的玻璃部件(3，3’，3”)，其中所述至少一个玻璃部件(3，3’，3”)由具有低软化温度并对紫外线和/或深紫外线波长具有低吸收系数的玻璃材料构成。

2.如权利要求1所述的物镜系统，还包含至少一个具有球面的光学部件(2，2’，2a”，2b”)。

3.如权利要求1或2所述的物镜系统，其中所述玻璃材料的软化温度低于700℃。

4.如权利要求1、2或3所述的物镜系统，其中所述玻璃材料的软化温度低于600℃。

5.如权利要求1至4任一个所述的物镜系统，其中对于沿所述玻璃部件(3，3’，3”)光轴1毫米的厚度，所述玻璃材料在257纳米波长处的吸收率低于25％。

6.如权利要求1至5任一个所述的物镜系统，其中对于沿所述玻璃部件(3，3’，3”)光轴1毫米的厚度，所述玻璃材料在257纳米波长处的吸收率低于18％。

7.如权利要求1至6任一个所述的物镜系统，其中所述玻璃材料是高纯碳酸纳或者钡钠玻璃。

8.如权利要求1至7任一个所述的物镜系统，其中所述玻璃材料具有低浓度的金属杂质组分。

9.如权利要求8所述的物镜系统，其中Fe₃O₂等效组分的浓度低于15毫克每公斤。

10.如权利要求1至9任一个所述的物镜系统，其中所述至少一个玻璃部件(3，3’，3”)利用玻璃注模技术制造而成。

11.如权利要求2至10任一个所述的物镜系统，其中所述至少一个玻璃部件(3”)和至少一个具有球面的玻璃部件(2a”)集成到单个部件中。

12.如权利要求2至11任一个所述的物镜系统，其中所述至少一个具有球面的玻璃部件(3，3′，3″)由熔融石英构成。

13.如权利要求2至12任一个所述的物镜系统，包含具有球面的第一(2a”)和第二(2b”)光学部件和一个具有非球面的玻璃部件(3”)。

14.如权利要求13中所述的物镜系统，其中所述玻璃部件(3”)包含平坦侧(5)，而且其中所述玻璃部件(3”)的平坦侧(5)安装到所述具有球面的第一光学部件(2a”)的平坦侧(6)上。

15.一种用于紫外线和/或深紫外线波长的光学扫描设备(10)，包含由权利要求1至1 4任一个所述的物镜系统(1，1’，1”)。