[发明专利]红外线传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种红外线传感器，其特征在于，具备：

红外线传感器元件；

与表面安装相对应的封装，其具有一个面开口的箱形形状，从而将上述红外线传感器元件收纳于内部；以及

光学滤光器，其以使规定波长的红外线通过的方式构成，并以覆盖上述封装的开口部的方式配置，周边部通过粘结剂与上述封装的上述开口部的周边区域接合，同时发挥：使上述红外线传感器元件接收规定波长的红外线的功能以及作为密封上述开口部的封盖的功能，

在上述光学滤光器的周边部的、与上述封装的上述开口部的周边区域相面对的区域，形成围绕上述光学滤光器的槽。

2.根据权利要求1所述的红外线传感器，其特征在于，

上述光学滤光器是阻抗为1MΩ/cm以下的光学滤光器，

上述封装使用金属材料构成主要部分，

接合上述光学滤光器和上述封装的粘结剂是导电性粘结剂，上述光学滤光器和上述封装通过该导电性粘结剂实现电连接。

3.根据权利要求1或2所述的红外线传感器，其特征在于，

上述光学滤光器具备：滤光器本体，其同时实现使上述红外线传感器元件接收规定波长的红外线的功能和作为密封上述开口部的封盖的功能；以及薄膜，其形成在该滤光器本体的表面并由绝缘性材料构成，

围绕上述光学滤光器的槽，以从形成有由上述绝缘性材料构成的薄膜的面到达上述滤光器本体的方式形成。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的红外线传感器，其特征在于，

上述封装的上述开口部的周边区域，嵌入在围绕上述光学滤光器的槽中。

5.一种用于制造权利要求1～3中任一项所述的红外线传感器的制造方法，其特征在于，

具备：

在一片即包含多个红外线传感器的光学滤光器的母光学滤光器中进行分割后，形成槽的工序，其中所述槽成为围绕上述光学滤光器的槽；

对上述槽及其附近附与粘接剂的工序；

以上述开口部的周边区域与附加在上述槽及其附近的粘接剂相接触的方式，将收纳有上述红外线传感器元件的多个上述封装载置于上述母光学滤光器上，并借助于上述粘接剂而粘接固定于上述母光学滤光器的工序；以及

以规定的位置分割上述母光学滤光器，而成为各个红外线传感器的工序。

6.一种用于制造权利要求4所述的红外线传感器的方法，

在一片即包含多个红外线传感器的光学滤光器的母光学滤光器上进行分割后形成槽的工序，所述槽成为围绕上述光学滤光器的槽；

以上述开口部的周边区域，嵌入在形成于上述母光学滤光器并成为围绕上述光学滤光器的槽的槽的状态，将收纳了上述红外线传感器元件的、多个上述封装搭载于上述母光学滤光器上，并通过粘接剂在该状态下将多个上述封装粘接固定于上述母光学滤光器的工序；以及

以规定位置分割上述母光学滤光器而成为各个红外线传感器的工序。