[发明专利]（甲基）丙烯酰胺衍生物、聚合物、化学增幅型光敏树脂组合物及其图案化方法

权利要求书

1.一种由如下通式(1)所代表的(甲基)丙烯酰胺衍生物：

其中，

R¹代表氢原子或甲基；

R²代表可酸解基团；和

R³到R⁶独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。

2.一种聚合物，所述聚合物包括至少一种由如下通式(2)所代表的重复结构单元：

其中，

R¹代表氢原子或甲基；

R²代表可酸解基团；和

R³到R⁶独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。

3.如权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物通过将由通式(1)所代表的(甲基)丙烯酰胺衍生物与能与所述(甲基)丙烯酰胺衍生物共聚的乙烯基单体进行聚合来制备。

4.如权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物还包括由如下通式(3)所代表的结构单元和/或由如下通式(4)所代表的结构单元：

其中，

R⁷代表氢原子或甲基；和

R⁸到R¹¹独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基；

其中，

R¹²代表氢原子或甲基；和

R¹³代表具有内酯结构的有机基团。

5.如权利要求2所述的聚合物，其特征在于，所述聚合物具有2000到200000的重均分子量。

6.一种化学增幅型光敏树脂组合物，所述组合物至少包括如下聚合物和光致产酸剂，所述聚合物含有至少一种选自通式(2)所代表的重复结构单元和由通式(3)所代表的重复结构单元的重复结构单元：

其中，

R¹代表氢原子或甲基；

R²代表可酸解基团；和

R³到R⁶独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基；

其中，

R⁷代表氢原子或甲基；和

R⁸到R¹¹独立地代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。

7.如权利要求6所述的化学增幅型光敏树脂组合物，其中，所述含有至少一种选自通式(2)所代表的重复结构单元和由通式(3)所代表的重复结构单元的重复结构单元的聚合物是含有至少一种通式(2)所代表重复结构单元的聚合物。

8.如权利要求6所述的化学增幅型光敏树脂组合物，所述组合物还包括溶解抑制剂和/或粘附性改进剂。

9.如权利要求8所述的化学增幅型光敏树脂组合物，其特征在于，所述溶剂抑制剂是由如下通式(5)或如下通式(6)所代表的化合物：

其中，

R¹⁴和R¹⁵代表可酸解基团；

R¹⁶和R¹⁷是具有1到10个碳原子的线性、支化或环状烷基或芳烃基；和

Z代表化学键、-C(CF₃)₂-、-SO₂-、-CO-、-O-或二价烃基；

其中，

R¹⁸代表二价烃基；

R¹⁹和R²⁰代表可酸解基团；和

R²¹和R²²代表氢原子、卤原子或具有1到4个碳原子的烷基。

10.如权利要求8所述的化学增幅型光敏树脂组合物，其特征在于，所述粘附性改进剂是有机硅化合物。