[发明专利]干燥表面的方法有效

专利信息
申请号: 200680016488.0 申请日: 2006-04-11
公开(公告)号: CN101175579A 公开(公告)日: 2008-05-07
发明(设计)人: 木下圭;菲利普·恩格塞 申请(专利权)人: SEZ股份公司
主分类号: B08B3/02 分类号: B08B3/02;H01L21/687;H01L21/306
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 张祖昌
地址: 奥地利*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要:
搜索关键词: 干燥 表面 方法
【权利要求书】:

1.一种干燥盘形物品的表面的方法,其包括用清洗液覆盖所述表面,由此形成一封闭液层,以及清除该清洗液,其中所述清洗液包含至少50%重量百分比的水和至少5%重量百分比的一物质,其中所述物质降低水的表面能,其中通过将气体吹到所述封闭液层上而开始所述的清除所述液体,由此该封闭液层在不连续区域被打开。

2.如权利要求1所述的方法,其中,所述物质是一双极性有机溶剂(例如选自包括醇(例如乙醇、2-丙醇)、酮(例如丙酮)及其混合物的组)。

3.如权利要求2所述的方法,其特征在于,该双极性有机溶剂在20℃具有高于15hPa的蒸气压力。

4.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该气体包括选自稀有气体、二氧化碳、及氮气的组中的惰性气体。

5.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该气体基本上没有任何表面活性物质。

6.如权利要求1所述的方法,其特征在于,形成于该表面上的该封闭液层被暴露于气体。

7.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在将该清洗液应用于该表面前,已用第一清洗液清洗了该表面,其中,该第一清洗液基本上没有任何表面活性物质。

8.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该清洗液包含至少10%重量百分比的一物质。

9.如权利要求7所述的方法,其特征在于,该清洗液包含至少15%重量百分比的一物质。

10.如权利要求1所述的方法,其特征在于,该气体通过一喷嘴被吹至该表面,该喷嘴口的剖面面积不应超过1cm2

11.如权利要求9所述的方法,其特征在于,该气体借助喷嘴被吹至该表面上,该喷嘴被导向偏离该盘形物品的中心不超过30mm的该表面的冲击的区域。

12.如权利要求1所述的方法,其中,吹至该表面的所述气体的该气体速度应大于3m/s。

13.如权利要求1所述的方法,其中,在置换该清洗液的至少部分时间中,该盘形物品绕基本上垂直于该盘形物品的所述表面的一轴线而被旋转。

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