[发明专利]用于检查表面的装置有效

专利信息
申请号: 200680016588.3 申请日: 2006-07-05
公开(公告)号: CN101371131A 公开(公告)日: 2009-02-18
发明(设计)人: 贝尔恩德·吕狄格尔·施特约伯尔 申请(专利权)人: 柯尼格及包尔公开股份有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 王仲贤
地址: 德国维*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 用于 检查 表面 装置
【权利要求书】:

1.一种用于检查表面的装置,其中设有检查系统(01),所述检查系统(01)具有用于接收需要检查的表面所反射的光线的光学装置(02)和至少具有两个光源(07;08)的照射系统(06),其中所述光学装置(02)和所述照射系统(06)与控制单元(04)连接,其中所述光源(07;08)以一间距(A)彼此相隔设置,其中所述光源(07;08)各自将光线发射到所述光学装置(02)设于需要检查的表面上的检测区域(11)中,其中所述光学装置(02)与需要检查的表面相对准,其中所述照射系统(06)的至少两个彼此以所述间距(A)相隔设置的光源(07;08)各自分成多个单独子光源(071至077和/或081至087),其中所述光学装置(02)的检查区域(11)位于一相对于检查系统(01)经过该检测区域(11)的需要检查的表面的运动平面内,其中所述照射系统(06)的光源(07;08)之间的间距(A)沿着需要检查表面的运动方向(T)延伸,其中至少一个光源(07;08)的单独子光源(071至077和/或081至087)与待检查表面的运动方向(T)横向地设置,其特征在于,其中所述控制单元(04)分别选择性地且彼此独立地控制照射系统(06)的至少两个彼此以所述间距(A)相隔设置的光源(07;08),和/或至少两个彼此以所述间距(A)相隔设置的光源(07;08)的单独子光源(071至077和/或081至087),所述控制单元(04)利用照射系统(06)的可控光源(07;08)的对于可与需要检查的表面的各自反射特性相配的照射分布不仅沿着所述表面的运动方向(T)而且在与所述运动方向(T)横向的方向上进行调节。

2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述光源(07;08)以彼此不同的入射角(α;β)将光线发射到所述光学装置(02)的检测区域(11)中。

3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述光学装置(02)以一观测角(δ;ε)对准需要检查的表面。

4.如权利要求2或3所述的装置,其特征在于,所述入射角(α;β)和/或所述观测角(δ;ε)分别自垂直于需要检查的表面的垂直线(14)出发构成锐角。

5.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述控制单元(04)利用至少两个入射角(α;β)不同的光源(07;08)在检测区域(11)中分别调节至少两个不同的照射位置。

6.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述控制单元(04)利用其对光源(07;08)的控制调节其启动时刻和/或其启动持续时间和/或其各自的亮度。

7.如权利要求6所述的装置,其特征在于,所述控制单元(04)针对需要检查的表面一定的待检测主题或待检测特定特征方面对于所述至少一个光源(07;08)的各自的启动时刻和启动持续时间选择性地进行调节。

8.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述控制单元(04)根据需要检查的表面的运动速度调节光源(07;08)的启动时刻。

9.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述照射系统(06)的光源(07;08)以发光二极管构成。

10.如权利要求1所述的装置,其特征在于,用于接收需要检查的表面所反射的光线的所述光学装置(02)以具有至少一个照相机(03;23)的照相机系统(02)构成。

11.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述照相机系统(02)的至少一个照相机(03;23)以行式照相机(03;23)构成。

12.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述照相机系统(02)具有至少两个各自的观测角(δ;ε)彼此不同的照相机(03;23)。

13.如权利要求10所述的装置,其特征在于,所述控制单元(04)为了由至少一个照相机(03;23)拍摄的两个彼此相继的图像行,在两个不同的照射位置对照射系统(06)的光源(07;08)进行调节。

14.如权利要求11所述的装置,其特征在于,所述照射系统(06)的光源(07;08)的转换时间短于所述至少一个照相机(03;23)的行节拍。

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