[发明专利]气体燃烧设备

权利要求书

1.一种使用多个废气燃烧喷嘴将废气输送到燃烧室内来燃烧废气的方法，该方法包括如下步骤：将各废气输送到每个喷嘴且对于每个喷嘴选择地供给燃料和氧化剂以用于在室内形成燃烧火焰，和随输送到喷嘴的废气的化学组成的变化调整燃料和氧化剂的供给。

2.根据权利要求1所述的方法，其中对于每个喷嘴调整燃料和氧化剂的供给，以当第一废气输送到喷嘴时产生氧化性燃烧火焰且当与第一废气不同的第二废气输送到喷嘴时产生还原性燃料火焰。

3.根据权利要求2所述的方法，其中第一废气包括氨。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中第二废气包括含卤素的气体。

5.根据权利要求4所述的方法，其中第二气体包括F₂、NF₃和SF₆的至少一个。

6.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中对于每个喷嘴，氧化剂的供给响应于供给到喷嘴的废气的化学组成的变化而变化。

7.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中对于每个喷嘴，燃料的供给响应于供给到喷嘴的废气的化学组成的变化而变化。

8.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中对于每个喷嘴，响应于代表了供给到喷嘴的废气的化学组成的变化的数据接收来调整燃料和氧化剂的供给。

9.根据权利要求8所述的方法，其中每个废气从处理工具排放，数据代表了由处理工具供给的废气的化学组成的变化。

10.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中燃料包括碳氢化合物，优选地为甲烷。

11.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中氧化剂包括氧。

12.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中燃料和氧化剂每个从绕燃烧喷嘴延伸的多个孔口喷射到燃烧室内。

13.根据前述权利要求的任何项所述的方法，其中对于每个喷嘴，将供给的燃料和氧化剂添加到供给到室的燃料和氧化剂的混合物，以用于在室内形成燃烧火焰，因此选择地改变在室内形成的每个燃烧火焰的属性。

14.一种用于燃烧废气的设备，该设备包括：燃烧室；多个废气燃烧喷嘴，每个用于将各废气输送到室内，每个喷嘴具有与其相关的用于接收燃料和氧化剂的各装置，以用于在室内形成燃烧火焰；和控制装置，以对于每个废气用于接收代表了废气的化学组成的变化的数据且用于响应于数据调整燃料和氧化剂的供给以用于燃烧废气。

15.根据权利要求14所述的设备，其中每个喷嘴包括绕它延伸的用于接收氧化剂的第一套筒和用于接收燃料的与第一套筒大体上同心的第二套筒。

16.根据权利要求15所述的设备，其中第二套筒绕第一套筒延伸。

17.根据权利要求15或16所述的设备，其中每个套筒包括用于输出燃料和氧化剂的各一个的围绕喷嘴的多个孔口。

18.根据权利要求14至17的任何项所述的设备，包括用于向室供给燃气以在室内形成燃烧火焰的装置。

19.根据权利要求18所述的设备，其中燃气包括燃料和氧化剂的混合物。

20.根据权利要求18或19所述的设备，其中燃气供给装置包括增压室，增压室具有用于接收燃气的入口和多个出口，燃气从出口排放到燃烧室内以在燃烧室内形成燃烧火焰。

21.根据权利要求20所述的设备，其中燃烧喷嘴每个在增压室内与来自增压室的各出口大体上同轴线地延伸。

22.根据权利要求20或21所述的设备，其中每个所述的用于接收燃料和氧化剂的装置构造为将燃料和氧化剂喷射到增压室内，以改变由燃气在室内形成的燃烧火焰的属性。

23.根据权利要求14至22的任何项所述的设备，其中控制装置包括每个用于改变向各喷嘴的氧化剂供给的多个第一可变流量控制设备，和用于响应于接收的数据选择地控制每个第一可变流量控制设备的控制器。