[发明专利]气体放电源，特别是EUV辐射

权利要求书

1.气体放电源，特别用于EUV辐射和/或软X射线辐射，其中在真空腔体(2)中，可旋转地设置了至少两个具有至少大致圆形周边的电极(1)以用于旋转，其中在一个空间位置的所述电极(1)具有狭小的间距用于气体放电(6)的点燃，并且在每种情况下以这样的方式与用于液体的导电材料(5)的贮液器(15)连接：在旋转的过程中，该导电材料(5)的液体膜(22)能够形成在所述电极(1)的圆形周边上，且通过所述贮液器(15)使得电流能够流到所述电极(1)，其特征在于：电极(1)在每种情况下通过连接元件(14)与贮液器(15)连接，利用连接元件(14)在电极(1)和连接元件(14)之间、在每个电极(1)的圆形周边的局部部分上形成缝隙(19)，在电极(1)旋转的过程中，液体的导电材料(5)能够通过形成在连接元件(14)中的至少一个馈送通道(16)从贮液器(15)渗透到该缝隙中。

2.根据权利要求1的气体放电源，其特征在于：该连接元件(14)以这样的方式设计：缝隙(19)沿着电极(1)的旋转方向逐渐变细。

3.根据权利要求1或2的气体放电源，其特征在于：该连接元件(14)还具有至少一个用于液体的导电材料(5)的回流通道(17)，所述回流通道开口到缝隙(19)中。

4.根据权利要求3的气体放电源，其特征在于：该回流通道(17)通过净化过滤器或净化前腔通向贮液器(15)中。

5.根据权利要求1-4中任意一项的气体放电源，其特征在于：缝隙(19)以这样的方式形成所需尺寸：通过毛细力将液体的导电材料(5)引入到缝隙(19)中和/或保持在缝隙(19)中。

6.根据权利要求1-5中任意一项的气体放电源，其特征在于：缝隙(19)在该缝隙的端部逐渐变细。

7.根据权利要求1-6中任意一项的气体放电源，其特征在于：缝隙(19)以这样的方式形成所需尺寸且被成形：在电极(1)的狭小间距区域中的导电材料(5)的液体膜(22)具有的厚度对于每个放电脉冲来说，使气体放电(6)所需的导电材料(5)的蒸发量最小化。

8.根据权利要求1-7中任意一项的气体放电源，其特征在于：贮液器(15)形成在连接元件(14)中。

9.根据权利要求1-8中任意一项的气体放电源，其特征在于：贮液器(15)通过供电线与连接元件(14)中的馈送通道(16)连接。

10.根据权利要求1-9中任意一项的气体放电源，其特征在于：连接元件(14)具有温度控制液体能够流经的其它通道。

11.根据权利要求1-10中任意一项的气体放电源，其特征在于：电极(1)在垂直于旋转方向的横截面中圆形周边上具有梯级的轮廓，其中将两个电极(1)的轮廓以互补的方式设计使得它们在狭小间距区域中彼此啮合。

12.根据权利要求1-11中任意一项的气体放电源，其特征在于：提供有磁性装置，该磁性装置防止导电材料(5)沿着与电极(1)的旋转方向相反的方向从缝隙(19)流出。

13.根据权利要求12所述的气体放电源，其特征在于：将铁磁性材料结合到电极(1)和/或连接元件(14)的区域中，用于放大该磁性装置的磁力。

14.根据权利要求1-13中任意一项的气体放电源，其特征在于：真空腔体(2)具有开口，该开口允许用于蒸发电极(1)狭小间距区域中液体膜(22)材料的能量辐射的引入。