[发明专利]宽范围的静电中和器和方法无效

专利信息
申请号: 200680017693.9 申请日: 2006-05-22
公开(公告)号: CN101568400A 公开(公告)日: 2009-10-28
发明(设计)人: P·戈夫特;S·格尔基;A·伊格纳坚科 申请(专利权)人: MKS仪器公司
主分类号: B23K10/00 分类号: B23K10/00
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 王 英
地址: 美国马*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 范围 静电 中和 方法
【权利要求书】:

1、一种用于中和在第一位置的带静电的物体的装置,包括:

第一电极,用于接收第一电压;

第二电极,通过所选择尺寸的间隙与所述第一电极分开;

第三电极,用于接收第三电压;

当所述第一电压施加于所述第一电极并且参考电压施加于所述第二电极时,所述第一电压用于产生离子云,该离子云具有正负离子,并且具有位于所述间隙内的所选择位置的重力中心;并且

当所述第二电压施加于所述第三电极时,所述第二电压用于重新分配所述正负离子。

2、如权利要求1所述的装置,其中所述第三电极包括暴露于所述间隙的表面。

3、如权利要求1所述的装置,其中所述第三电极包括中心与所述间隙的中心对准的表面。

4、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电压具有第一频率,所述第二电压具有第二频率,并且其中所述第一频率大于所述第二频率。

5、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电压具有在1kHz至30kHz范围内的第一频率,并且所述第二电压具有在0.1Hz至500Hz范围内的第二频率。

6、如权利要求1所述的装置,其中所述离子云是双极离子云。

7、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电极具有金属丝形式的形状。

8、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电极包括以点形状终止的锥形端部。

9、如权利要求1所述的装置,其中所述离子的所述重新分配使所述离子云重新整形,使得所述离子云的一部分扩散到更加靠近所述第一位置。

10、如权利要求1所述的装置,其中所述第三电压包括DC偏移。

11、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电压具有选择的频率和幅值,以使得所述离子云的重力中心大约位于所述间隙的中心。

12、如权利要求1所述的装置,其中所述第一电压具有选择的频率和幅值,以使得所述离子云的所述重力中心大约位于所述间隙的中心,使用方程来选择所述频率和所述幅值:

V=u*F/G2

在该方程中,u是所述正负离子的平均离子迁移率,F是所述频率,V是所述幅值,而G是所述间隙的所述选择的尺寸。

13、一种用于减少位于第一位置的物体上的静电荷的装置,包括:

第一电极,用于接收第一电压;

第二电极和第三电极,用于接收参考电压,所述第二电极与所述第一电极由第一间隙隔开,所述第三电极与所述第一电极由第二间隙隔开;

当所述第一电压施加于所述第一电极时,所述第一电压用于在所述第一间隙内产生第一组正负离子,并且在所述第二间隙内产生第二组正负离子;

第四电极和第五电极,用于接收第二电压;以及

当所述第二电压施加于所述第四和第五电极时,所述第二电压用于重新分配所述第一和第二组正负离子。

14、如权利要求13所述的装置,其中所述第一电极是电离电极,并且所述参考电压等于接地电势,并用作所述第一和第二电压的参考电压。

15、如权利要求13所述的装置,其中所述第四电极包括面对所述第一间隙的第一表面,而所述第五电极包括面对所述第二间隙的第二表面。

16、如权利要求13所述的装置,其中所述第四和第五电极每个分别具有与所述第一和第二间隙的中心对准的中心。

17、如权利要求13所述的装置,其中所述第一电压具有第一频率,所述第二电压具有第二频率,并且其中所述第一频率大于所述第二频率。

18、如权利要求13所述的装置,其中所述第一电压具有在1kHz至30kHz范围内的第一频率,而所述第二电压具有在0.1至500Hz范围内的第二频率。

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