[发明专利]容器搬送装置及容器搬送系统

说明书

技术领域

本发明涉及收纳高清洁的环境下搬送处理的基板等的容器的搬送装置和搬送系统。

背景技术

一般，LCD或半导体晶片等基板怕尘埃，其制造在高清洁的环境即所谓的净化室中进行。在这样的制造工厂中，需要在进行薄膜形成前清洗工序、薄膜形成工序、抗蚀剂工序等各种处理的多个处理装置之间搬送基板，作为该搬送装置，使用称作FOUP(Front Opening Unified Pod)的容器。该容器能在内部的隔架上收纳25个基板，由在工厂内行驶的自动搬送车(AGV(Automatic Guided Vehicle))或在铺设在工厂的顶棚上的轨道上吊下并且象单轨列车那样行驶的OHT(Overhead Hoist Transfer)搬送。

在各处理装置中设置容器载置台，该容器载置台和例如AGV之间的容器的交接由处理装置或AGV中设置的机械手(装载器和卸载器)进行。此外，从容器载置台上的容器向各处理装置的基板的搬送使用众所周知的SCARA型机械手，按每一个基板进行。

作为以往的容器搬送装置的一个例子，例如有专利文献1中记载的容器搬送装置。参照图11，以下说明专利文献1中记载的容器搬送装置。该容器搬送装置在装载收纳有基板的容器110的容器装载器A1和卸载收纳处理完毕基板的容器110的容器卸载器A2之间，设置由容器装载器A1将变空的容器110移动、升降动作的容器横行搬送基座111，从而能装载/卸载多个容器110，不用为了容器交接而使AGV等待就能行驶。

近年，希望在容器内只收纳必要的少数的基板，通过流向生产线而减少库存。这时，基于处理装置的处理时间变短，所以在处理装置的前面载置容器地构成容器搬送装置，从而能不产生等待时间，对处理装置供给基板。与之相对，在处理时间长的处理装置的时候，从AGV接受多个容器，能够暂时贮藏地构成容器搬送装置，从而能高效地使AGV工作。

专利文献1：特开平8-167641号公报

可是，在专利文献1的容器搬送装置中，在容器装载器A1和容器卸载器A2之间，将基板装载用台S1、缓冲台SB、基板卸载用台S2排列为1列，规定的处理装置需要配置在基板装载用台S1和基板卸载用台S2的后方。因此，需要增大相邻的处理装置之间的间隔等，在各装置的配置上存在大的制约。

此外，为了将容器搬送到容器装载器A1，或者从容器卸载器A2回收容器而使用AGV时，需要使在工厂内能自由行驶的AGV和容器搬送装置同步动作，所以存在必须统一控制与容器搬送有关的全部装置的课题。AGV不仅向容器装载器A1或容器卸载器A2搬送或回收容器，还需要在容器装载器A1和容器卸载器A2之间移动，AGV的移动范围变成宽范围，难以确保作业者的安全区域。

另一方面，在容器的搬送中使用OHT时，OHT安装在工厂的顶棚部，所以该安装作业或维护作业等变得困难。此外，在处理装置等的上方设置OHT的驱动部分和行驶用的轨道，所以产生从上方尘埃落下来，净化室的清洁度下降的不良情况。进而，行驶用的轨道在工厂内循环地配置，所以在工厂内的布局变更或增设等的时候，极难重新铺设轨道。

再有，在以往的容器搬送装置中，其配置或结构如上所述，受到大幅度制约，所以发生在处理时间短的处理装置中产生等待时间，或者在处理时间长的处理装置之前AGV长时间等待的事态，还存在产生生产工序的延迟的课题。

发明内容

本发明是为了解决这些课题而提出的，其目的在于，提供一种按照处理装置的处理速度或配置结构等，能恰当地搬送容器的容器搬送装置和容器搬送系统。

本发明的容器搬送装置的第一形态是一种容器搬送装置，其搬送内部收纳基板的容器，其特征在于，包括：搬送机械手，其具有使所述容器上下升降的升降机构和使所述容器前后移动的直线移动机构；能载置一个以上所述容器的载置台。

本发明的容器搬送装置的其他形态的特征在于：所述直线移动机构具有保持所述容器并在垂直面内转动的臂体，通过使所述臂体转动来使所述容器前后移动。

本发明的容器搬送装置的其他形态的特征在于：所述臂体具有2个臂和连接所述2个臂各自的一端的连接部，所述一个臂的另一端被固定，在所述另一个臂的另一端保持所述容器，通过使所述2个臂以所述连接部为中心向反方向转动来使所述容器前后移动。