[发明专利]细线抗蚀剂剥离方法

权利要求书

1.一种用于去除衬底上光致抗蚀剂薄膜的方法，其包含下列步骤：

a)用含碱水溶液处理所述衬底，

b)此后，用含有碱和至少一种选自由由以下各物组成的群组的剥离增强剂的溶液进一步处理所述衬底：己二醇、乙二醇一乙醚、乙二醇一丁醚、乙二醇一异丙醚、丙二醇一甲醚、丙二醇一乙醚、丙二醇一丁醚、二乙二醇一甲醚、二乙二醇一乙醚、二乙二醇一丙醚、二乙二醇一丁醚、二丙二醇一甲醚、二丙二醇一乙醚、二丙二醇一丙醚、二丙二醇一丁醚、三乙二醇一甲醚、三乙二醇一乙醚、三乙二醇一丙醚、三乙二醇一丁醚、三丙二醇一甲醚、三丙二醇一乙醚、三丙二醇一丙醚、三丙二醇一丁醚、二乙二醇一异丙醚和丙二醇一甲醚乙酸盐。

2.根据权利要求1所述的方法，其中步骤b)中所使用的所述溶液进一步包含季铵盐和/或选自由三唑、苯并三唑、咪唑和四唑组成的群组的化合物。

3.根据权利要求1所述的方法，其中步骤b)中所使用的所述溶液含有5-10重量％乙二醇异一丙醚和5-10重量％二乙二醇一丁醚。

4.根据权利要求1所述的方法，其中步骤a)中所使用的所述溶液中所含的碱为氢氧化物，优选氢氧化钠或氢氧化钾。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述氢氧化物以0.05-15重量％的量、优选1-5重量％的量含于步骤a)中所使用的所述溶液中。

6.根据权利要求1所述的方法，其中步骤a)中所使用的所述溶液中所含的碱为如下通式的胺：

NR₃R₄R₅

其中R₃、R₄和R₅相同或不同且为氢或具有1-18个碳原子的烷基或羟基烷基、苯基、其中烷基具有1-18个碳原子的烷基苯基或羟基烷基苯基。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述胺选自由以下各物组成的群组：三甲胺、三乙胺、苄基二甲胺、苯基二甲胺、十二基二甲胺、十六基二甲胺、十八基二甲胺、十二基二乙胺、十六基二乙胺、十八基二乙胺、十二基二正丙胺、十二基二异丙胺、苄基甲基十六胺、甲基乙基十六胺、对十二基苄基二甲胺和苄基甲基十八胺。

8.根据权利要求6所述的方法，其中所述胺为选自由以下各物组成的群组的烷醇胺：三乙醇胺、二乙醇胺、二丙胺、甲醇二乙醇胺、丙醇二乙醇胺和丙醇乙醇胺。

9.根据权利要求6到8所述的方法，其中所述溶液含有0.05-35重量％、优选1-10重量％的量的所述胺。

10.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中步骤a)中的所述溶液另外含有可溶性硅酸盐，优选原硅酸钠或硅酸钠。

11.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中步骤b)中的所述溶液另外含有可溶性硅酸盐，优选原硅酸钠或硅酸钠。

12.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中步骤a)中的所述溶液另外含有铜络合剂，优选葡糖酸钠、膦酸钠或乙二胺四乙酸(EDTA)。

13.根据前述权利要求中任一权利要求所述的方法，其中在1.0-10.0巴、优选1.5-5.0巴的压力下和30-90℃、优选40-70℃的温度下，将步骤a)中的所述溶液喷涂在所述表面具有所述光致抗蚀剂薄膜的衬底上，且处理时间为10秒-10分钟，优选30秒-3分钟。

14.根据前述权利要求中的任一权利要求所述的方法，其中步骤b)中的所述溶液含有根据权利要求4到5所述的碱或根据权利要求6到9所述的碱。

15.根据权利要求2到14所述的方法，其中所述季胺盐具有如下通式：

NR₁R₂R₃R₄X

其中R₁、R₂和R₃和R₄相同或不同且选自由烷基、羟基烷基、苯基、烷基苯基和羟基烷基苯基组成的群组，其中烷基具有1-18个碳原子且其中X选自由阴离子、优选氢氧根、硫酸根和卤离子组成的群组。