[发明专利]描绘方法及装置无效

专利信息
申请号: 200680019409.1 申请日: 2006-05-24
公开(公告)号: CN101218542A 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: 角克人;古和田一辉;铃木一诚;福井隆史 申请(专利权)人: 富士胶片株式会社
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 朱丹
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 描绘 方法 装置
【说明书】:

技术领域

发明涉及使多个描绘头沿规定的扫描方向相对于描绘面相对地移动,从而在描绘面上描绘图像的描绘方法及装置。

背景技术

以往,周知有在描绘面上形成图像数据表示的期望的二维图案的描绘装置。

作为如上述的描绘装置提出了各种方案,例如利用数字微反射镜设备(以下称为“DMD”)等的空间光调制元件,根据图像数据由空间光调制元件调制光束,从而进行曝光的曝光装置。

并且,作为使用如上述的DMD的曝光装置,提出了例如通过使DMD沿规定的扫描方向相对于曝光面相对地移动,并且根据向该扫描方向移动,由DMD时序地依次形成曝光点群,由此在曝光面上形成期望的图像的曝光装置。

此外,作为如上述的曝光装置,也提出了在与扫描方向正交的方向上配置多列设有DMD的曝光头,并使该曝光头列相对于曝光面相对地移动的曝光装置的方案。通过如上述地构成行曝光头并进行曝光,能够缩短曝光时间。

但是,在具备如上述的多个曝光头的曝光装置中,每个曝光头基于各自不同的坐标系在曝光面上曝光曝光图像,每个曝光头的曝光图像在上述扫描方向上发生偏离,无法曝光合适的曝光图像。

发明内容

本发明鉴于上述问题,目的在于提供一种能够在如上述曝光装置的、利用多个描绘头描绘图像的描绘方法及装置中,不产生如上述的按各描绘头的图像的偏离地描绘合适的图像的描绘方法及装置。

本发明的描绘方法使描绘头相对于描绘面沿规定的扫描方向相对地移动,并且与该移动对应地在所述描绘面上依次形成所述描绘点,从而在所述描绘面上描绘图像,所述描绘头具有描绘元件二维状配置的描绘点形成部,且所述描绘元件基于表示所述图像的图像数据在描绘面上形成描绘点,其中,利用在与所述扫描方向交叉的方向上排列的多个所述描绘头进行所述描绘,所述描绘方法的特征在于,使用在每个描绘头上预先设定的基准描绘元件,在所述描绘面上形成所述每个描绘头的基准点,并且控制基于所述各描绘头的描绘时刻,以使所述每个描绘头的基准点在所述扫描方向上的规定的位置处排列。

此外,上述本发明的描绘方法中,能够利用所述各描绘头在所述描绘面形成的各部分图像的所述交叉方向的任一侧的端部上形成所述基准点。

此外,能够对输入到所述各描绘头的部分图像数据实施修正,以使由相互邻接的所述描绘头中的一个所述描绘头形成的部分图像的形成所述基准点的端部连接由另一个所述描绘头形成的部分图像的未形成所述基准点的在所述交叉方向上的端部。

此外,作为所述修正,能够实施旋转处理。

此外,能够对输入到所述各描绘头的图像数据实施修正,以使利用所述基准描绘元件形成的描绘点的图像构成为描绘在与所述扫描方向交叉的方向上的规定位置的图像。

此外,能够对输入到所述各描绘头的部分图像数据实施修正,以使利用相互邻接的所述描绘头在所述描绘面上形成的各部分图像在与所述扫描方向交叉的方向上连接。

此外,作为使在所述交叉方向上连接而实施的修正,能够实施插补或间隔剔除处理。

此外,能够N重(N为2以上的自然数)描绘所述描绘面。

本发明的描绘装置,使描绘头相对于描绘面沿规定的扫描方向相对地移动,并且与该移动对应地在所述描绘面上依次形成所述描绘点,从而在所述描绘面上描绘图像,所述描绘头具有描绘元件二维状配置的描绘点形成部,所述描绘元件基于表示所述图像的图像数据在描绘面上形成描绘点,其中,多个所述描绘头在与所述扫描方向交叉的方向上排列,所述描绘装置的特征在于,所述多个描绘头使用在该每个描绘头上预先设定的基准描绘元件,在所述描绘面上形成基准点,且具备描绘头控制部,其控制基于所述各描绘头的描绘时刻,以使所述每个描绘头的基准点在所述扫描方向上的规定的位置处排列。

此外,在上述本发明的描绘装置中,所述各描绘头是利用该各描绘头在所述描绘面形成的各部分图像的所述交叉方向的任一侧的端部上形成所述基准点。

此外,具备扫描方向修正机构,其对输入到所述各描绘头的部分图像数据实施修正,以使由相互邻接的所述描绘头中的一个所述描绘头形成的部分图像的形成所述基准点的端部连接由另一个所述描绘头形成的部分图像的未形成所述基准点的且在所述交叉方向上的端部。

此外,所述扫描方向修正机构能够对输入到各描绘头的部分图像数据实施旋转处理。

此外,还具备:描绘点位置修正机构,其对输入到所述各描绘头的图像数据实施修正,以使利用所述基准像素形成的描绘点的图像构成为描绘在与所述扫描方向交叉的方向上的规定位置的图像。

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