[发明专利]具有简单结构的微柱有效

专利信息
申请号: 200680019662.7 申请日: 2006-05-29
公开(公告)号: CN101189537A 公开(公告)日: 2008-05-28
发明(设计)人: 金浩燮;金秉辰 申请(专利权)人: 电子线技术院株式会社
主分类号: G02B3/00 分类号: G02B3/00
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 党晓林
地址: 韩国忠*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 具有 简单 结构
【权利要求书】:

1.一种电子柱,该电子柱具有电子发射源和透镜单元,其中,所述透镜单元包括两个以上的透镜层,并执行源透镜功能和聚焦功能。

2.如权利要求1所述的电子柱,其中,所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层,从而附加地执行偏转器功能。

3.如权利要求1或2所述的电子柱,其中,所述电子柱为多电子柱。

4.如权利要求3所述的电子柱,其中,所述多电子柱为晶片型。

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