[发明专利]具有简单结构的微柱有效
申请号: | 200680019662.7 | 申请日: | 2006-05-29 |
公开(公告)号: | CN101189537A | 公开(公告)日: | 2008-05-28 |
发明(设计)人: | 金浩燮;金秉辰 | 申请(专利权)人: | 电子线技术院株式会社 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 党晓林 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 简单 结构 | ||
【权利要求书】:
1.一种电子柱,该电子柱具有电子发射源和透镜单元,其中,所述透镜单元包括两个以上的透镜层,并执行源透镜功能和聚焦功能。
2.如权利要求1所述的电子柱,其中,所述透镜单元包括一个以上的偏转器型透镜层,从而附加地执行偏转器功能。
3.如权利要求1或2所述的电子柱,其中,所述电子柱为多电子柱。
4.如权利要求3所述的电子柱,其中,所述多电子柱为晶片型。
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