[发明专利]光电倍增器有效
| 申请号： | 200680019794.X | 申请日： | 2006-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN101189701A | 公开（公告）日： | 2008-05-28 |
| 发明（设计）人： | 久嶋浩之;下井英树;杉山浩之;木下仁志;木村末则;增田祐司;大村孝幸 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | H01J43/24 | 分类号： | H01J43/24;H01J43/12 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光电 倍增器 | ||
1.一种光电倍增器，其特征在于，具有：
外围器，内部被维持在真空状态；
光电面，被容纳于所述外围器内，相应于经过该外围器而取入的光向该外围器的内部释放电子；
电子倍增部，被容纳于该外围器内，具有沿着电子的行进方向延伸的多个沟部；以及，
阳极，被容纳于该外围器内，用于将在所述电子倍增部被级联倍增的电子中的到达的电子作为信号而取出，该阳极由多个通道电极构成，这些通道电极分别对应于设置在所述电子倍增部的多个沟部而设置，并且这些通道电极的至少一部分被配置在被规定相应的沟部的一对壁部夹着的空间内。
2.根据权利要求1所述的光电倍增器，其特征在于：
构成所述阳极的各通道电极具有，其前端插入到被规定所述相应的沟部的一对壁部夹着的空间内的突起部。
3.一种光电倍增器，其特征在于，具有：
外围器，内部被维持在真空状态；
光电面，被容纳于所述外围器内，相应于经过该外围器而取入的光向该外围器的内部释放电子；
电子倍增部，被容纳于所述外围器内，具有沿着电子的行进方向延伸的多个贯通孔；以及，
阳极，被容纳于该外围器内，用于将在所述电子倍增部被级联倍增的电子中的到达的电子作为信号而取出，该阳极由多个通道电极构成，这些通道电极分别对应于设置在所述电子倍增部的多个贯通孔而设置，并且这些通道电极的至少一部分被配置在被规定相应的贯通孔的壁部夹着的空间内。
4.根据权利要求3所述的光电倍增器，其特征在于：
构成所述阳极的各通道电极具有，其前端插入到被规定所述相应的贯通孔的壁部夹着的空间内的突起部。
5.根据权利要求2或4所述的光电倍增器，其特征在于：
构成所述阳极的各通道电极的本体部分固定在所述外围器的一部分上，所述突起部在距离所述外围器规定距离的状态下被所述本体部分支撑。
6.根据权利要求1至5中任何一项权利要求所述的光电倍增器，其特征在于：
构成所述阳极的各通道电极由硅形成。
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