[发明专利]电沉积青铜的方法

权利要求书

1.一种在基材上电解沉积青铜的方法，该方法包括：

将基材浸没在一种水性酸性电解组合物内，该水性酸性电解组合物包含一个锡离子源，一个铜离子源，一种烷基磺酸和一种选自下列物质的化合物：脂肪族脂肪醇乙氧化物类，取代的乙二硫醇类，及其组合；及

从该电解液电解沉积锡和铜以在该基材上形成青铜。

2.如权利要求1所述的方法，其中电解组合物还包含芳香族非离子型湿润剂。

3.如权利要求1或2所述的方法，其中电解组合物包含所述脂肪族脂肪醇乙氧化物化合物。

4.如权利要求1或2所述的方法，其中电解组合物包含所述脂肪族脂肪醇乙氧化物化合物且所述脂肪族脂肪醇乙氧化物化合物具有13至15个碳原子。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述取代的乙二硫醇。

6.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述取代的乙二硫醇且所述取代的乙二硫醇是选自下列物质：硫代双(二甘醇)，硫代双(六甘醇)，硫代双(十五-乙二醇)，硫代双(二十-乙二醇)，硫代双(五十-乙二醇)，4，10-二氧杂-7-硫杂十三烷-2，12-二醇，硫代甘油，硫代双(三甘油)，2，2′-硫代二丁醇双(八-乙二醇五-甘油)醚，硫代双(八-乙二醇)双(2-氯乙基)醚，硫代双(十-乙二醇)双(羧甲基)醚，硫代双(十二-乙二醇)双(2-硝基乙基)醚，硫代二乙二醇双(羧甲基)醚，二硫代二乙二醇双(羧甲基)醚，硫代双(十二-乙二醇)，二硫代双(四十一-乙二醇)，二硫代双(二十-乙二醇五-丙二醇)，硫代双(三-甘油)，硫代双(十-甘油)，3，6-二硫杂-辛烷-1，8-二醇，1，3-丙烷二硫醇-双(十-乙二醇)硫醚，1，4-丁烷二硫醇-双(十五-甘油)硫醚，1，3-二硫代甘油-双(二(1-乙基)乙二醇)硫醚，1，2-乙烷二硫醇-双(五(1-乙基)乙二醇)硫醚，1，3-二硫代甘油-双(二(1-乙基)乙二醇)硫醚，2-氢硫基乙基硫醚双(三十六-乙二醇)，2-氢硫基乙基硫醚双(二十-乙二醇)二甲基醚，2-氢硫基乙基硫醚双(二-乙二醇)，硫代二甘油-四(十-乙二醇)醚，二-乙二醇单甲基硫醚，十-甘油-单(6-甲硫基己基)硫醚，2-氢硫基乙基硫醚-ω-{(2-溴乙基)二十-乙二醇}硫醚-ω′-{(2-溴乙基)一百-乙二醇}硫醚，1，4-丁烷二醇-ω-{(2-苯甲氧基-1-甲基)乙基}硫醚-ω′-{十-丙二醇-八十-乙二醇}硫醚，二硫代双(二十-乙二醇)双(2-甲硫基乙基)醚，1，2-乙二醇-ω-(4-甲氧基苯甲基)硫醚-ω′-(五十-乙二醇)硫醚，三十-乙二醇单(4-氰基苯甲基)硫醚，硫代双(十五-乙二醇)双烯丙基醚，二十三-乙二醇单(4-甲酰基苯乙基)硫醚，十五-乙二醇单{(乙酰基甲基)硫乙基}硫醚，1，2-乙二醇-ω-(环氧丙基)硫醚-ω′-(二十-乙二醇)硫醚，十八-乙二醇双(2-甲基硫乙基)醚，十六-乙二醇单(2-甲基硫乙基)硫醚，二十-乙二醇单甲基硫醚，十一-乙二醇二(正丙基)硫醚，十二-乙二醇双(2-羟基乙基)硫醚，十一-乙二醇双二甲基硫醚，三十五-乙二醇单(2-正丁基二硫乙基)二硫醚，4，8，12-三硫杂十五烷-1，2，6，10，14，15-己醇，二十-甘油单(2-乙基硫乙基)硫醚，三十-乙二醇单(2-甲基硫乙基)硫醚，二硫代双(二十-乙二醇)二苯甲基醚，十三-乙二醇单甲基硫醚，十六-乙二醇二甲基硫醚，  1，2-乙烷二硫醇双(二十-乙二醇)硫醚，二硫代双(十五-乙二醇)，3，3′-硫代二丙醇，及其组合。

7.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述取代的乙二硫醇且所述取代的乙二硫醇为2，2′-(乙二硫基)-二乙醇。

8.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述取代的乙二硫醇和所述脂肪族脂肪醇乙氧化物化合物。

9.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述取代的乙二硫醇与所述脂肪族脂肪醇乙氧化物化合物，且所述脂肪族脂肪醇乙氧化物具有13至15个碳原子。

10.如权利要求1-9中任一项所述的方法，其中电解组合物包含所述锡离子和铜离子，其浓度为可产生具有约40/60或更低的锡/铜重量比例的青铜沉积物。