[发明专利]具有可调电极面积比的受约束等离子体

权利要求书

1.一种等离子体反应器，包括：

室；

封入所述室内的底部电极和顶部电极；

大体上平行于所述底部电极和所述顶部电极的第一约束环组，并围绕所述底部电极和所述顶部电极之间的第一体积；

大体上平行于所述底部电极和所述顶部电极的第二约束环组，并围绕所述底部电极和所述顶部电极之间的第二体积，

所述第二体积大于所述第一体积；

邻近并围绕所述底部电极的接地扩展部，

其中，所述第一约束环组和所述第二约束环组能够被独立地升高和降低，以延伸到所述接地扩展部之上的区域内。

2.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被升高时降低，并且所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被降低时升高。

3.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被升高时升高，并且所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被降低时降低。

4.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第一约束环组和所述第二约束环组被悬置。

5.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第一约束环组包括每个约束环之间的可调的间隙。

6.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第二约束环组包括每个约束环之间的可调的间隙。

7.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第一约束环组邻近所述顶部电极，使得有效电极面积比大体上接近1，通过用由所述底部电极支撑的工件面积除所述第一体积中的等离子体的横截面而定义所述有效电极面积比。

8.根据权利要求1所述的等离子体反应器，其中，所述第二约束环组被设置成使得有效电极面积比大体上大于1，通过用由所述底部电极支撑的工件面积除所述第二体积中的等离子体的横截面而定义所述有效电极面积比。

9.根据权利要求1所述的等离子体反应器，进一步包括连接到所述底部电极的电源，所述底部电极配置为用于接收工件。

10.根据权利要求9所述的等离子体反应器，其中，所述电源产生到所述底部电极的多个频率。

11.根据权利要求9所述的等离子体反应器，其中，所述顶部电极接地。

12.根据权利要求1所述的等离子体反应器，进一步包括邻近所述底部电极的接地扩展部环，所述接地扩展部电连接到所述顶部电极，并包括在有效电极面积比内，通过用由所述底部电极支撑的工件面积除等离子体的横截面而定义所述有效电极面积比。

13.根据权利要求1所述的等离子体反应器，进一步包括邻近并围绕所述底部电极的介电环。

14.一种使用等离子体反应器的方法，所述等离子体反应器具有室，所述室带有：顶部电极；底部电极；具有第一直径的第一约束环组；具有第二直径的第二约束环组，所述第二直径大于所述第一直径；邻近并围绕所述底部电极的接地扩展部；所述方法包括：

为所述第一约束环组和所述第二约束环组选择位置，所述第一约束环组和所述第二约束环组能够被独立地升高和降低，以延伸到所述接地扩展部之上的区域内。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被升高时降低，并且所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被降低时升高。

16.根据权利要求14所述的方法，其中，所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被升高时升高，并且所述第一约束环组配置为当所述第二约束环组被降低时降低。

17.根据权利要求14所述的方法，进一步包括悬置所述第一约束环组和所述第二约束环组。

18.根据权利要求14所述的方法，进一步包括调整所述第一约束环组内的每个约束环之间的间隙。

19.根据权利要求14所述的方法，进一步包括调整所述第二约束环组内的每个约束环之间的间隙。