[发明专利]具有陶瓷材料外层的耐腐蚀物件

权利要求书

1.一种形成物件的方法，该方法包括如下步骤：

-提供导电性主体部件，

-将涂层施加到主体部件的表面部分，所述涂层包含难熔金属或难熔金属的合金，和

-以使得所述涂层的至少一部分转化成导电陶瓷材料的方式加工所述涂层。

2.权利要求1的方法，其中加工步骤包括将物件放置于含有所需元素的气体环境中，其中通过该涂层的难熔金属与所需元素之间的气相反应形成陶瓷材料。

3.权利要求1的方法，其中加工步骤包括以固相施加所需元素，其中通过该涂层的难熔金属与所需元素之间的固相反应形成陶瓷材料。

4.权利要求2或3的方法，其中所需元素为硼。

5.权利要求1的方法，其中主体部件包含金属或合金，其中将涂层施加到主体部件的表面部分上的步骤是以这样的方式进行的，该方式使得所得涂层包含难熔金属与存在于主体部件中的金属的合金。

6.权利要求5的方法，其中加工步骤包括将非金属化合物施加到该涂层上，从而形成包含难熔金属、存在于主体部件中的金属和非金属化合物的陶瓷材料。

7.权利要求6的方法，其中非金属化合物为氧，其中陶瓷材料包含难熔金属与存在于主体部件中的金属的合金的氧化物。

8.权利要求2-7中任何一项的方法，其中加工步骤进一步包括将至少该涂层加热到300℃到1500℃区间的温度。

9.一种物件，包括：

-导电性主体部件，

-至少基本上覆盖主体部件的外表面的涂层，所述涂层包含难熔金属或难熔金属的合金，所述涂层的至少一部分包含导电陶瓷材料。

10.权利要求9的物件，其中整个层包含陶瓷材料。

11.权利要求9或10的物件，其中陶瓷材料为难熔金属的硼化物。

12.权利要求9-11中任一项的物件，其中涂层包含钽或钽的合金。

13.权利要求9-12中任一项的物件，其中主体部件由金属或合金制成，其中涂层包含难熔金属与存在于主体部件中的金属的合金。

14.权利要求9-13中任一项的物件，其中涂层厚度在0.1μm到200μm的区间内。

15.权利要求9-14中任一项的物件，其中主体部件的电导率在0.01×10⁶Ω^-1cm^-1到0.65×10⁶Ω^-1cm^-1区间内。

16.权利要求9-15中任一项的物件，其中所述物件是电极或构成电极的部分。