[发明专利]用于供送二氧化碳的系统

权利要求书

1.一种用于将二氧化碳流体供送到至少两个分开的半导体操作步骤的系统，其中所述操作步骤的一个需要冷冻，该系统包括：

(a)使用预处理设备将包括二氧化碳组分的流体预处理以形成预处理的二氧化碳物流；

(b)通过第一导管将第一部分所述预处理的二氧化碳物流导入第一半导体操作步骤，其中所述第一部分转化成流出物物流；

(c)通过第二导管将第二部分所述预处理的二氧化碳物流引导穿过降压设备，形成较低压力和温度的第二物流；和

(d)将从所述降压设备中排出的所述第二物流引入第二半导体操作步骤，其中所述第二物流作为冷却工具提供到所述第二半导体操作步骤，并且所述第二物流转化成第二流出物物流。

2.根据权利要求1的用于供送二氧化碳流体的系统，其进一步包括：

将所述第一部分所述预处理的二氧化碳物流导入所述第一半导体操作步骤上游的、在所述第一导管上的热交换设备。

3.根据权利要求1的用于供送二氧化碳流体的系统，其进一步包括：

将所述第一流出物物流传送到废物分离设备，其中将富含二氧化碳的物流从富含杂质的物流中分离。

4.根据权利要求3的用于供送二氧化碳流体的系统，其中将产生的所述第二流出物物流与从废物分离设备中排出的富含二氧化碳的物流混合，并且将所得物流导入所述预处理设备。

5.根据权利要求1的用于供送二氧化碳流体的系统，其进一步包括：

通过第二导管将第二部分所述预处理的二氧化碳物流引导穿过降压设备到达设置在布置于所述第二半导体操作步骤中的相分离器上游的热交换设备。

6.根据权利要求5的用于供送二氧化碳流体的系统，其进一步包括：

在所述热交换设备中将所述预处理的二氧化碳物流至少部分气化以形成至少部分气化的预处理的二氧化碳物流，并且将从废物分离设备中排出的一部分富含二氧化碳的物流导入所述热交换设备，其中所述富含二氧化碳的物流至少部分冷凝形成部分冷凝的富含二氧化碳的物流。

7.根据权利要求6的用于供送二氧化碳物流体的系统，其进一步包括：

将所述部分冷凝的富含二氧化碳的物流返回到所述废物分离设备，由此将回流供送到所述相分离器以进一步促进在其中的分离。

8.根据权利要求6的用于供送二氧化碳流体的系统，其进一步包括：

从所述热交换设备中排出所述部分气化的预处理的二氧化碳物流，并且将所述部分气化的预处理的二氧化碳物流引导穿过降压设备，以及将所得的低压部分气化的预处理的二氧化碳物流传送到所述预处理设备。

9.一种用于将冷冻剂二氧化碳流体物流供送到半导体操作步骤的系统：

(a)供送和引导预处理的二氧化碳物流通过第一热交换设备以冷却所述二氧化碳物流；

(b)将所述冷却的二氧化碳物流引导穿过降压设备以生成较低温度和压力的物流；

(c)将所述较低温度和压力的物流喷射到第二热交换器中，其中第二冷冻物流传送通过该交换器；和

(d)将所述第二冷冻剂物流冷却并且将其传送到需要冷冻的半导体操作步骤。

10.根据权利要求5的用于供送二氧化碳流体物流的系统，其进一步包括：

其中将在步骤(c)中从第二热交换器中排出的所述较低温度和压力的物流返回到所述第一热交换器以连续冷却供送到其中的所述预处理的二氧化碳物流。

11.根据权利要求5的用于供送二氧化碳流体物流的系统，其中步骤(c)的所述较低温度和压力的物流是蒸气/液体或者蒸气/固体混合物。

12.一种用于将二氧化碳流体供送到两个分开的导体操作步骤的装置，其中所述操作步骤的一个需要冷冻，该装置包括：

(a)用于将包括二氧化碳组分的流体预处理以形成处理的二氧化碳物流的预处理设备；

(b)第一半导体操作步骤，其中第一部分所述处理的二氧化碳物流引导通过第一导管并且转化成第一流出物物流；

(c)降压设备，其能够接收和节流第二部分所述处理的二氧化碳物流以形成较低压力和温度的第二物流；和

(d)第二半导体操作步骤，其中通过第二导管引导所述较低压力和温度的第二物流以将冷却工具提供到所述第二半导体操作步骤，在那里该物流转化成第二流出物物流。