[发明专利]接触镜的飞秒激光微加工方法及由此制造的接触镜

权利要求书

1.一种在接触镜上提供结构特征的方法，包括：

将飞秒激光束施加到接触镜上以烧蚀所述接触镜的至少一部分，从而在所述接触镜上形成所述结构特征。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的脉冲宽度在10×10^-15秒和200×10^-15秒之间。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的脉冲宽度在60×10^-15秒和100×10^-15秒之间。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的波长在100nm和1500nm之间。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的波长在266nm和1060nm之间。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述用飞秒激光束烧蚀接触镜包括：用所述飞秒激光束以切割、熔化和蒸发中的至少一种方式烧蚀所述接触镜的一部分。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在不显著提高所述接触镜的周围区域的温度的情况下实施所述用飞秒激光束烧蚀接触镜。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所设置的结构特征是窗孔、沟槽、角状部分和外围边缘中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所设置的结构特征是窗孔。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述窗孔的直径在4μm和24μm之间。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述窗孔的直径在8μm和12μm之间。

12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述窗孔在所述接触镜的前表面和后表面之间延伸穿过所述接触镜。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述窗孔在所述接触镜的所述前表面处的直径不同于在所述后表面处的直径。

14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接触镜由弹性硅氧烷制成。

15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述接触镜由可透过气体的硬硅氧烷制成。

16.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括将所述接触镜设置在夹具中。

17.一种在接触镜上加工窗孔的方法，包括：

将接触镜定位在夹具中；以及

将脉冲宽度在10×10^-15秒和160×10^-15秒之间、波长在266nm和1060nm之间的激光束施加在所述已定位的接触镜上以烧蚀所述接触镜的至少一部分，从而在所述已定位的接触镜上形成所述窗孔，所述窗孔在所述接触镜的前表面和后表面之间延伸穿过所述接触镜，并且其直径在8μm和12μm之间。

18.一种制造接触镜的方法，包括：

将接触镜定位在夹具中；以及

将飞秒激光束施加在所述已定位的接触镜上以烧蚀所述接触镜的至少一部分。

19.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的脉冲宽度在60×10^-15秒和100×10^-15秒之间。

20.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，所述飞秒激光束的波长在266nm和1060nm之间。

21.根据权利要求18所述的方法，其特征在于，所述烧蚀部分形成窗孔、沟槽、角状部分和外围边缘中的至少一种。

22.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，所述烧蚀部分是直径在8μm和12μm之间的窗孔。

23.一种接触镜，包括：

中央部分，其具有前表面和后表面；

外围部分，其具有外围边缘；以及

至少一个窗孔，其流体连通所述前表面和所述后表面，所述至少一个窗孔是利用飞秒激光器以如下方式形成的，即围绕所述至少一个窗孔的区域实质上无热损伤。