[发明专利]二维图像显示装置、照明光源及曝光照明装置有效
申请号: | 200680022220.8 | 申请日: | 2006-06-15 |
公开(公告)号: | CN101203802A | 公开(公告)日: | 2008-06-18 |
发明(设计)人: | 笠澄研一;北冈康夫;水内公典;山本和久 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | G03B21/14 | 分类号: | G03B21/14;G02B27/48;G02F1/13;G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二维 图像 显示装置 照明 光源 曝光 装置 | ||
1.一种二维图像显示装置,其特征在于包括:
激光光源,至少有一个;
射束扫描部,一边至少在一维方向上扫描来自所述激光光源的射出射束,一边将来自所述激光光源的射出射束转换成二维的光;
空间光调制元件,将通过所述射束扫描部所扫描的光空间地进行调制;以及
光扩散部件,被设置在所述射束扫描部和所述空间光调制元件之间,使从所述射束扫描部射出的二维的光扩散。
2.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述射束扫描部包括二维扫描部,在第1方向和与所述第1方向垂直的第2方向上扫描来自所述激光光源的射出射束,其中,
所述二维扫描部,以所述第1方向的扫描频率和所述第2方向的扫描频率是互为素数的整数比的频率,周期性地扫描射向所述光扩散部件的光束。
3.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述射束扫描部包括:
一维射束分割部,分割来自所述激光光源的射出射束,制作多束的射束排列在所述第1方向的一维多射束列;以及
一维扫描部,在与所述第1方向垂直的第2方向上扫描所述一维多射束列。
4.根据权利要求3所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述一维射束分割部包括第1及第2分割面,以互不相同的间距分割来自所述激光光源的射出射束。
5.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述射束扫描部包括:
二维射束分割部,将来自所述激光光源的射出射束在第1方向和与所述第1方向垂直的第2方向上进行分割,制作多束的射束排列成二维的二维多射束;以及
微扫描部,对所述二维多射束微小地进行扫描。
6.根据权利要求5所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述二维射束分割部包括:
第1一维射束分割部,分割来自所述激光光源的射出射束,制作多束的射束排列在所述第1方向的一维多射束列;以及
第2一维射束分割部,将由所述第1一维射束分割部制作的一维多射束列在与所述第1方向垂直的第2方向上进行分割,制作二维多射束。
7.根据权利要求5所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述二维射束分割部包括各栅面倾斜的二维衍射光栅。
8.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于:所述射束扫描部包括振动部,用来使二维射束分割部振动,该二维射束分割部将来自所述激光光源的射出射束在第1方向和与所述第1方向垂直的第2方向上进行分割,制作多束的射束排列成二维的二维多射束。
9.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于还包括反射镜,将所述射束扫描部和所述光扩散部件之间的光路围住,多次反射来自所述射束扫描部的光束而将该光束导向所述光扩散部件。
10.根据权利要求9所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述反射镜还将所述光扩散部件和所述空间光调制元件之间的光路围住。
11.根据权利要求1~10中的任一项所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述激光光源包括用于发出红色、用于发出绿色及用于发出蓝色的3个激光光源。
12.根据权利要求11所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述光扩散部件和所述空间光调制元件,对应所述3个激光光源分别各设置一个。
13.根据权利要求12所述的二维图像显示装置,其特征在于,来自所述3个激光光源的射出射束,以互不相同的角度射向所述射束扫描部。
14.根据权利要求1~13中的任一项所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述光扩散部件包括模拟随机扩散板。
15.根据权利要求1所述的二维图像显示装置,其特征在于,所述射束扫描部包括:
射束扩大部,将来自所述激光光源的射出射束在第1方向进行扩大来制作线状射束;以及
一维扫描部,在与所述第1方向垂直的第2方向上扫描所述线状射束。
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