[发明专利]制造树脂的微型机器部件的方法

权利要求书

1.一种制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

(a)在基片上形成一层牺牲层；

(b)在所述牺牲层上顺序形成至少两层光敏树脂组合物层，并对形成的各光敏树脂组合物层进行相应于预定微型机器部件的内部结构的光刻，形成限定微型机器部件的周边部分的气隙部分和构成微型机器部件的内部结构的气隙部分，因而形成固化的光敏树脂组合物层的多层结构；

(c)在固化的光敏树脂组合物层的多层结构上层叠干膜抗蚀剂，对所述干膜抗蚀剂层进行相应于遮蔽层结构的光刻，形成固化的干膜抗蚀剂层，其中，形成限定遮蔽层的周边部分的气隙部分和构成遮蔽层结构的气隙部分；和

(d)通过去除所述牺牲层将所述微型机器部件与所述基片分离，所述微型机器部件具有固化光敏树脂组合物层和固化的干膜抗蚀剂层的多层结构，并由限定周边部分的多层体组成。

2.如权利要求1所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，用于除遮蔽层外的各层的光敏树脂组合物是液体光敏树脂组合物。

3.如权利要求1所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，用于除遮蔽层外的各层的光敏树脂组合物是干膜抗蚀剂。

4.如权利要求1-3中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，各层的光敏树脂组合物是可光固化的树脂组合物。

5.如权利要求4所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，可光固化的树脂组合物的交联组分是环氧树脂、氨基化合物、丙烯酸类树脂或者聚酰亚胺前体。

6.如权利要求5所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，各层的光敏树脂组合物是包含环氧树脂和光阳离子聚合引发剂的光敏树脂组合物。

7.如权利要求1-6中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，牺牲层是碱溶性树脂组合物，使用碱水溶液去除牺牲层，以将微型机器部件与基片分离。

8.如权利要求1-7中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，在固化的干膜抗蚀剂层上还形成结构体。

9.如权利要求1-7中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，微型机器部件由两层的固化光敏树脂组合物层和一层固化的干膜抗蚀剂层的多层结构组成。

10.如权利要求1-9中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，微型机器部件是微型叶轮。

11.如权利要求1-10中任一项所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，在形成为可活动部件的微型机器部件的同时，为固定部件的微型机器部件在限定为可活动部件的微型机器部件的周边部分的气隙部分外面形成，因而形成具有芯体结构的微型机器部件，其中为可活动部件的微型机器部件容纳在为固定部件的微型机器部件内。

12.如权利要求11所述的制造树脂构成的微型机器部件的方法，其特征在于，可活动部件是微型叶轮，固定部件是定子。