[发明专利]化学机械抛光在制造铝镜和太阳能电池中的用途

权利要求书

1.一种抛光含铝基板的表面的方法，该方法包括：

(i)提供含铝基板，

(ii)提供抛光垫，

(iii)提供抛光组合物，该抛光组合物包含：

(a)选自二氧化硅、二氧化铈及氧化锆的研磨剂，

(b)对铝进行氧化的试剂，及

(c)液体载体，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中，

(iv)将该基板的表面与该抛光垫及该抛光组合物接触，及

(v)研磨该基板的该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面。

2.权利要求1的方法，其中该基板由铝构成。

3.权利要求1的方法，其中该基板由铝合金构成。

4.权利要求3的方法，其中该铝合金为6000系列铝合金。

5.权利要求4的方法，其中该铝合金为6061 T6铝合金。

6.权利要求1的方法，其中该抛光垫由选自以下的聚合物树脂构成：热塑性弹性体、热塑性聚氨酯、热塑性聚烯烃、聚碳酸酯、聚乙烯醇、尼龙、弹性体橡胶、弹性体聚乙烯、聚四氟乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚芳酰胺、聚亚芳基、聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、其共聚物、及其混合物。

7.权利要求6的方法，其中该抛光垫由热塑性聚氨酯构成。

8.权利要求1的方法，其中该研磨剂为热解二氧化硅、沉淀二氧化硅或缩聚二氧化硅。

9.权利要求8的方法，其中该对铝进行氧化的试剂选自过硫酸铵、过氧化氢、过氧单硫酸硫酸氢钾及过乙酸。

10.权利要求9的方法，其中该抛光组合物进一步包含有机酸。

11.权利要求1的方法，其中该研磨剂以基于该抛光组合物的总重量的0.1重量％至20重量％的量存在于该抛光组合物中。

12.权利要求11的方法，其中该研磨剂以基于该抛光组合物的总重量的1重量％至10重量％的量存在于该抛光组合物中。

13.权利要求1的方法，其中该对铝进行氧化的试剂选自过硫酸铵、过氧化氢、过氧单硫酸硫酸氢钾及过乙酸。

14.权利要求1的方法，其中该抛光组合物进一步包含有机酸。

15.权利要求14的方法，其中该有机酸为丁二酸。

16.权利要求1的方法，其进一步包括在将该基板的该表面与该抛光垫及该抛光组合物接触之前的预抛光该铝表面的步骤。

17.权利要求16的方法，其中该预抛光该基板的该表面的步骤通过该表面的金刚石车削而实现。

18.权利要求16的方法，其中该预抛光该基板的该表面的步骤通过研光(lapping)而实现。

19.权利要求1的方法，其中该表面经抛光以提供具有预定表面粗糙度的经抛光表面。

20.权利要求1的方法，其中该表面为基本上平坦的。

21.一种根据权利要求1的方法制造的镜。

22.一种抛光含铝基板的表面的方法，该方法包括：

(i)提供含铝基板，

(ii)提供抛光垫，该抛光垫包含：(A)弹性副衬垫及(B)与该弹性副衬垫基本上共同延伸的聚合抛光薄膜，其中该聚合抛光薄膜包含抛光表面及与该弹性副衬垫可剥离地结合的背面，

(iii)提供抛光组合物，该抛光组合物包含：

(a)选自二氧化硅、二氧化铈及氧化锆的研磨剂，

(b)对铝进行氧化的试剂，及

(c)液体载体，其中该研磨剂为微粒状且悬浮于该液体载体中，

(iv)将该基板的表面与该抛光垫的该抛光表面及该抛光组合物接触，及

(v)研磨该基板的该表面的至少一部分以自该基板移除至少一些铝且抛光该基板的该表面。

23.权利要求22的方法，其中该基板由铝构成。

24.权利要求22的方法，其中该基板由铝合金构成。

25.权利要求24的方法，其中该铝合金为6000系列铝合金。