[发明专利]用于保持工艺腔内的近大气压力的设备和方法

权利要求书

1.一种设备，包括工艺腔(1)和被用来从所述工艺腔(1)排出气体的泵(8)，工艺腔(1)配备了用于把气体注入所述工艺腔(1)的气体注入管路(4)，其特征在于，所述泵(8)被用来把所述工艺腔(1)内的压力保持为大于所述工艺腔(1)外的周围大气压力。

2.根据权利要求1所述的设备，其还包括控制系统(13)，所述控制系统(13)根据所述工艺腔(1)内的压力和所述工艺腔(1)外的周围大气压力来调节所述泵(8)的速度。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述泵(8)包括与鼓风机(9)连接的出口。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述泵(8)经由压力调节阀(7)与所述工艺腔(1)连接。

5.一种处理方法，其中被用来把气体排出工艺腔的泵(8)把工艺腔(1)内的压力保持为大于所述工艺腔(1)外的周围大气压力，所述工艺腔(1)配备了用于把气体注入所述工艺腔(1)的气体注入管路(4)。

6.根据权利要求5所述的处理方法，其还包括：根据所述工艺腔(1)内的压力和所述工艺腔(1)外的周围大气压力，通过控制系统(13)来调节所述泵(8)的速度。