[发明专利]带有统计可重复的响应时间的多功能半导体制造控制器

权利要求书

1.一种使用工具主机和过程I/O控制器对半导体制造过程精确定时控制的方法，其中该过程I/O控制器包括处理室监视的电接口，以及通过该电接口控制并支持精确定时的输入和输出，并且该工具主机包括象征性地代表该电接口的编程环境，该方法包括：

在该工具主机上，准备控制程序，该程序包括用于该过程I/O控制器通过该电接口采样输入和控制输出的指令；

从该工具主机到该过程I/O控制器，载入该控制程序；以及

在该过程I/O控制器上，在接收调用该控制程序的命令时，运行该控制程序以通过该电接口产生采样输入和控制输出的统计上准确的定时；

其中当在目标时间和实际时间之间的方差分布的99.99％范围中的方差小于或等于5(五)毫秒时，该采样输入和控制输出被看作是具有统计上准确的定时。

2.根据权利要求1所述的方法，其中以解释编程语言准备该控制程序。

3.根据权利要求2所述的方法，其中以载入过程优先级载入该控制程序，该优先级通过过程I/O控制器保存处理命令的优先级。

4.根据权利要求3所述的方法，其中在不使过程I/O控制器从至少一些采样输入离线且通过该电接口控制输出的情况下，载入该控制程序进一步继续。

5.根据权利要求1所述的方法，其中以在目标时间和实际时间之间的方差分布的99.99％范围执行的采样输入和控制输出小于或等于3(三)毫秒。

6.根据权利要求1所述的方法，其中以在目标时间和实际时间之间的方差分布的99.99％范围执行的采样输入和控制输出小于或等于1(一)毫秒。

7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括该过程I/O控制器通过该电接口向该工具主机发送与该采样输入对应的虚拟数字信号并且改变输出，而不中断采样和控制的统计上准精的定时。

8.根据权利要求7所述的方法，其中该虚拟数字信号包括时间戳。

9.根据权利要求7所述的方法，进一步包括该工具主机响应于该虚拟数字信号向该过程I/O控制器发送引起该过程I/O控制器停止运行该控制程序的命令。

10.根据权利要求1所述的方法，进一步包括该过程I/O控制器响应于该控制程序以统计上准确的定时向另一个过程I/O控制器发送控制命令。

11.根据权利要求1所述的方法，进一步包括向该工具主机指定用于控制步骤的定时容限，并使该工具主机确定是否通过准备和载入解释控制程序来使该过程I/O控制器代理该控制步骤的定时。

12.一种以可重复的间隔、使用与中央控制器合作的过程I/O控制器来控制在处理室中运行的处理的方法，该方法包括：

由监视并控制操作该处理室的一个或多个方面的该过程I/O控制器，

从该中央控制器接收控制命令，并在接收之后，在5毫秒或更少的第一统计可重复短间隔内处理该控制命令；

其中当时间分布的99.99％范围中的时间小于或等于该短间隔时，将该短间隔看作是统计可重复的；

在该控制命令的处理中不失去统计可重复性的情况下，采样与该处理室连接的一个或多个传感器，并在采样时间表的统计可重复容限

内缓冲该样本；以及

其中当在目标时间和实际时间之间的方差分布的99.99％范围中的方差小于或等于容限时，将该容限看作是统计可重复的。

13.根据权利要求12所述的方法，其中该第一统计可重复短间隔是3毫秒或更小。

14.根据权利要求12所述的方法，其中该第一统计可重复短间隔是1毫秒或更小。

15.根据权利要求12所述的方法，其中该统计可重复容限是5毫秒或更小。

16.根据权利要求12所述的方法，其中该统计可重复容限是3毫秒或更小。

17.根据权利要求12所述的方法，进一步包括缓冲与该采样对应的时间戳。

18.根据权利要求12所述的方法，在不失去该控制命令的处理的统计可重复性或不失去该采样的统计可重复性的条件下，进一步包括该过程I/O控制器分发至少一些经缓冲的样本。