[发明专利]用于对由仪器产生的数据进行分析的方法

说明书

版权声明

本专利文件的部分公开内容包含了受版权保护的内容。该版权的所有者不反对任何人对在美国专利商标局专利文件或记录中出现的该专利文件或该专利公开内容进行复制转载，但其保留所有版权权利。

技术领域

本发明涉及科学仪器，尤其涉及一种用于分析由科学仪器产生的数据的方法。

背景技术

科学仪器，例如光谱仪，对原始数据进行采集(如以每秒大量计数的形式)，该原始数据可被用于确定被测样品的特性。需要对所述原始数据进行处理以提供有用的计算结果。因此需要开发出算法以分析通过仪器所产生的原始数据。所述算法通常由研制该仪器的工程师进行开发，通常耗时数月。

光电子能谱学是一种用于确定样品中元素核素的组成、厚度、分布等情况的方法。光电子能谱学对样品在受到单频辐射源轰击时所发射的光电子进行测量。例如，可以通过特定预设波长的x射线或紫外线辐射来对所述样品进行轰击。当所述样品的单个原子吸收了该辐射的光子时，该原子发射出具有原子动能(KE)特性的电子。该电子即光电子。所述被原子吸收的光子具有能量e＝hv，其中h为普朗克常数，v为该光子的频率。所述光电子曾被束缚于所述发射原子中。所述光电子的结合能(BE)是为了将所述光电子从所述原子中剥离出来所需的能量值。通过所述设备测量的KE为所述光电子被发射出后具有的能量值。根据能量守恒定律，可以确定KE＝hv-BE。由于原子中电子的BE为已知值，如果轰击样品的光子的波长已知，则发射的光电子的KE可以识别所述原子的核素。

可以使用电子能量分析仪对所述发射的光电子进行计数。描绘以特定动能计数所得的光电子数量的能谱曲线可以从所述原始数据获得。然后所述能谱可以被用于确定所述样品的各种特性，例如化学组成或者厚度。

使用所述能谱可以确定或计算所述样品的特性。然而，为了确定关于所述样品的有用信息，针对待确定的每个新的样品和每组新的特性，对于所述特定样品和期望特性的特定算法都必须以公式来表示。开发所述算法通常很耗时，并且可能会延迟样品的分析过程。

发明内容

根据本发明的一个实施例，描述了一种调用模型。所述调用模型包括模型结构以及数据获取模块和算法引擎之间的接口。所述模型结构对由仪器产生的原始数据和由用户引入的配置数据进行存储。例如，所述原始数据可以是使用光电子能谱产生的计数。所述配置数据确定了用于处理所述数据的函数和方法。所述算法引擎使用所述配置数据以产生用于处理所述原始数据的算法。在产生所述算法后，所述算法引擎动态地计算用户期望的结果，并将该结果返回给所述数据获取模块。这样，用于确定样品某些特性的算法能够很容易地被用户确定并由算法引擎产生。

附图说明

本发明的一个或多个实施例通过示例的方式得以说明，并且不受附图的限制，附图中相似的符号表示相似的元件，并且其中：

图1A显示根据本发明的一个实施例在基片上形成的分层结构；

图1B显示通过XPS能谱产生的被测结果的能谱；

图2是调用模型和系统的其他元件之间相互作用的图表，所述系统用于产生从仪器采集的数据而得的结果；

图3A是描述使用调用模型以集成算法、处理原始数据并将结果返回给用户的过程的流程图；

图3B是描述根据本发明的一个实施例产生算法的过程的流程图；

图4是根据本发明的一个实施例调用模型的模型结构的示意图；

图5A-5G显示根据本发明的某些实施例用于输入所述配置数据的接口；

图5H是描述确定所述结构的顶层厚度的过程的流程图；以及

图6显示用于实施本发明的某些实施例的处理系统。

具体实施方式

根据本发明的一个实施例，公开了一种用于对来自仪器的数据进行分析的方法。由所述仪器产生的原始数据与由用户产生的配置数据一并被打包到调用模型中。所述原始数据可以包括，例如，在分析光电子能谱数据时具有某一动能的光电子计数。所述配置数据可以包括用户基于所述待测结构的组成和配置而选择的若干参数。参数的示例包括当计算数值时采用哪一函数、校正因数等等。所述调用模型可以用作所述仪器和用于产生算法的引擎之间的接口，用以将期望的结果返回给用户。所述引擎接着产生所述算法和由用户指定的结果，并且所述调用模型将所述结果返回给用户。这样可以使用已知的算法和函数产生用于特定被测样品或结构的特定算法和结果。