[发明专利]带有可互换探针插头的探针卡组件

权利要求书

1.一种探针卡装置，包括：

第一结构；

第二结构，包括电触点；

至电触点的多个顺应电连接；

被配置成相对于第一结构改变第二结构的方位的机构；以及

第三结构，包括被设置成接触将被测试的电子器件的多个探针，该第三结构被配置成连接到第二结构并从第二结构拆卸，其中在连接到第二结构的同时，所述探针中的探针被电连接至所述电触点中的电触点。

2.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，还包括至测试器的接口，其中顺应电连接使测试器接口电连接至电触点。

3.如权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，顺应电连接包括导线。

4.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，第三结构包括：

探针插头，包括探针，以及

固定器，可连接至第二结构并从第二结构可拆卸，并且被配置成固定探针插头。

5.如权利要求4所述的探针卡装置，其特征在于，在固定器从第二结构拆卸的同时，探针插头从该固定器可移去。

6.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，还包括连接机构，被配置成以一致且可重复的方位将第三结构连接到第二结构。

7.如权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，还包括连接机构，被配置成以特定方位将第三结构连接到第二结构，从第二结构拆卸第三结构，以及以特定方位将第三结构再次连接至第二结构。

8.一种探针卡装置，包括：

探针卡组件，包括多个组装部件，在它们组装时形成至测试器的电接口；以及

探针结构，包括被设置成接触将被测试的电子器件的多个探针，

其中该探针结构被配置成：

将连接至探针卡组件，从而所述探针中的探针被电连接至测试器接口，并且

将从探针卡组件拆卸，从而所述探针中的探针与测试器接口电断开。

9.如权利要求8所述的探针卡装置，其特征在于：

探针结构包括第一固定器和连接有探针的探针插头，并且

在探针结构从探针卡组件拆卸的同时，探针插头从第一固定器可移去。

10.如权利要求9所述的探针卡装置，其特征在于：

测试器接口包括设置在探针卡组件上的第一导电触点，并且

在第一固定器被连接到探针卡组件的同时，第一固定器保持探针插头上第二导电触点中的至少一个与至少一个第一触点电接触，其中至少一个第二触点电连接到至少一个探针。

11.如权利要求10所述的探针卡装置，其特征在于，还包括接线基板，该接线基板包括被配置成与来自测试器的通信信道电连接的信道连接器。

12.如权利要求11所述的探针卡装置，其特征在于，还包括用于保持第一触点的第二固定器，其中至少一个第一触点被电连接到至少一个信道连接器。

13.如权利要求12所述的探针卡装置，其特征在于，还包括屏蔽电导体，其中至少一个屏蔽电导体将至少一个第一触点连接到至少一个信道连接器。

14.如权利要求12所述的探针卡装置，其特征在于，第一固定器直接可连接到第二固定器。

15.一种重新配置探针卡装置的方法，该方法包括：

从探针卡组件去除第一探针插头，该第一探针插头包括以第一结构设置的探针；以及

用第二探针插头更换第一探针插头，该第二探针插头包括以第二结构设置的探针，

其中，第二结构不同于第一结构。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于：

在第一结构中，探针被设置成接触对应于第一半导体模片设计的端子的第一结构，

在第二结构中，探针被设置成接触对应于第二半导体模片设计的端子的第二结构，并且

端子的第一结构不同于端子的第二结构。

17.如权利要求15所述的方法，其特征在于，去除步骤包括从探针卡组件拆除固定器，该固定器被配置保持第一探针插头。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，拆除步骤包括：

将固定器固定在固定工具中，并且

此后从探针卡组件释放该固定器。