[发明专利]硬质材料涂覆体和它们的制备方法

权利要求书

1.一种具有单层或多层层体系的硬质材料涂覆体，所述的层体系包括至少一个不需等离子体激发通过CVD制造的Ti_1-xAl_xN硬质材料层，其中Ti_1-xAl_xN硬质材料层作为立方体NaCl结构的单相层存在，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数a_fcc为0.412nm-0.405nm，或其中Ti_1-xAl_xN硬质材料层是多相层，其主相由具有立方体NaCl结构的Ti_1-xAl_xN组成，其中化学计量系数x＞0.75，高达x＝0.93，晶格常数a_fcc为0.412nm-0.405nm，包含作为附加相的纤锌矿结构的Ti_1-xAl_xN和/或NaCl结构的TiNx，其中Ti_1-xAl_xN硬质材料层的氯含量为0.05-0.9at％。

2.根据权利要求1的硬质材料涂覆体，其特征在于Ti_1-xAl_xN硬质材料层的氯含量为0.1-0.5at％。

3.根据权利要求1的硬质材料涂覆体，其特征在于Ti_1-xAl_xN硬质材料层的氧含量为0.1-5at％。

4.根据权利要求1的硬质材料涂覆体，其特征在于Ti_1-xAl_xN硬质材料层的硬度值为2500HV-3800HV。

5.根据权利要求1的硬质材料涂覆体，其特征在于Ti_1-xAl_xN硬质材料层包括0-30质量％的无定形层组分。

6.一种制造具有单层或多层层体系的硬质材料涂覆体的方法，所述的层体系包括至少一个Ti_1-xAl_xN硬质材料层，其特征在于，不需要等离子体激发，在700℃-900℃的温度下在反应器中通过CVD涂覆该物体，从而将卤化钛、卤化铝和反应性氮化合物用作前体，将所述气体在高温下混合。

7.根据权利要求6的方法，其特征在于NH₃和/或N₂H₄用作反应性氮化合物。

8.根据权利要求6的方法，其特征在于在紧邻沉积区前方的反应器中混合前体。

9.根据权利要求6的方法，其特征在于在温度为150℃-900℃下混合前体。

10.根据权利要求6的方法，其特征在于在10²Pa-10⁵Pa压力下进行涂覆工艺。