[发明专利]堆料机无效

专利信息
申请号: 200680024921.5 申请日: 2006-07-07
公开(公告)号: CN101218661A 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: A·C·博诺拉;R·G·海因;M·克鲁克拉 申请(专利权)人: 埃塞斯特科技有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 代理人: 赵蓉民
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 堆料机
【权利要求书】:

1.一种堆料机,其在具有一用于移动在工具区之间的一容器的顶板型制程区间物料输送系统及一用于移动在工具区内的一容器的底板型制程区内物料输送系统的制造设施内,该堆料机包含:

一容器储存区域,其用于储存至少一个容器;

一顶板型输入传送器,其经调适以接收一来自该顶板型制程区间物料处理系统的容器且将该容器移动至该容器储存区域中;

一底板型传送器,其用于移动一在该容器储存区域与该底板型制程区内物料处理系统之间的容器;及

一自动机械装置,其用于移动一在该顶板型输入传送器、该容器储存区域及该底板型传送器之间的容器。

2.如权利要求1所述的堆料机,其中该容器储存区域包含多个容器储存搁架。

3.如权利要求2所述的堆料机,其中该自动机械装置亦移动在该多个容器储存搁架之间的容器。

4.如权利要求1所述的堆料机,其进一步包括一用于传送一在该顶板型输入传送器与该底板型制程区内物料处理系统之间的容器的垂直传送模块。

5.如权利要求l所述的堆料机,其中该底板型传送器包含一用于将一容器自该底板型制程区内物料处理系统移动至该容器储存区域内的输入传送器。

6.如权利要求1所述的堆料机,其中该底板型传送器包含一用于将容器自该容器储存区域移动至该底板型制程区内物料处理系统上的输出传送器。

7.如权利要求4所述的堆料机,其中该顶板型输入传送器进一步经调适以移动一容器至该垂直传送模块上。

8.一种堆料机,其在具有一用于移动在工具区之间的容器的顶板型制程区间物料处理系统及一用于移动工具区内的容器的底板型制程区内物料处理系统的制造设施内;该堆料机包含:

一容器储存区域;

一顶板型输入传送器,其用于接收一来自该顶板型制程区间物料处理系统的容器及移动该容器至该容器储存区域内;

一顶板型输出传送器,其用于将一容器移出该容器储存区域外;

一底板型输入传送器,其用于将一容器自该底板型制程区内物料处理系统移动至该容器储存区域内;

一底板型输出传送器,其用于将一容器自该容器储存区域移动至该底板型制程区内物料处理系统上;及

一自动机械装置,其用于移动一在该顶板型输入传送器、该顶板型输出传送器、该底板型输入传送器、该底板型输出传送器之间及该容器储存区域内的容器。

9.如权利要求8所述的堆料机,其中该容器储存区域包含多个容器储存搁架。

10.如权利要求9所述的堆料机,其中该自动机械装置移动在该多个容器储存搁架之间的容器。

11.一种用于优化容器沿一物料处理系统在该物料处理系统的一装载区部分与一堆料机之间的移动的方法,其包含下列步骤:

a)制备用于接收多个容器的该物料处理系统的该装载区部分;

b)将多个容器平行装载至该物料处理系统的该装载区部分上;

(c)将该步骤(b)中所装载的该容器移近至一堆料机;及

(d)将在该步骤(c)中自该物料处理系统移动至该堆料机的该容器装载至该堆料机。

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