[发明专利]正型感光性树脂组合物以及图案形成方法

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有100重量份具有下述式(1)所示结构单元的聚酰亚胺前体(A)、15～25重量份由下述式(2)所示的交联剂(B)和2～5重量份通过活性光线照射而产生酸的感光剂(C)，

   (H₂C＝CH-O-CH₂CH₂-O_mR  ...(2)

式中，m表示1以上的整数，R表示1价以上的芳香族基团或脂肪族基团。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述聚酰亚胺前体(A)通过在下述式(3)所示的非质子性极性酰胺溶剂中，使下述式(4)所示的降冰片烷二胺和均苯四酸二酐反应而得到，

式中，R₁～R₃，各自可以相同或不同，表示碳原子数为1～3的烷基，

3.根据权利要求2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述非质子性极性酰胺溶剂为N，N-二甲基乙酰胺。

4.一种正型感光性树脂组合物的溶液，其特征在于，含有权利要求1～3任一项所述的正型感光性树脂组合物和权利要求2中所述的由式(3)所示的非质子性极性酰胺溶剂。

5.一种聚酰亚胺，其特征在于，具有下述式(5)所示的结构单元，由权利要求1～3任一项所述的正型感光性树脂组合物进行脱水酰亚胺化而得到

6.一种聚酰亚胺，其特征在于，通过在对权利要求4所述的溶液进行脱溶剂的同时，对该溶液中所含的具有权利要求1所述式(1)所示的结构单元的聚酰亚胺前体(A)进行脱水酰亚胺化而得到。

7.一种正型图案形成方法，其特征在于，包括如下工序：将权利要求4所述溶液涂布在基板上的工序(I)，使涂布了该溶液的基板在50～160℃干燥的工序(II)，透过掩模图案使活性紫外线在所得涂膜上曝光，然后在80～200℃加热的工序(III)，使用碱金属碳酸盐的水溶液，仅溶解所述涂膜的曝光部分，使正型图案显像的工序(IV)，通过对显像的正型图案进行热处理，形成包含具有权利要求5所述式(5)所示结构单元的聚酰亚胺的正型图案的工序(V)。

8.根据权利要求7所述的正型图案形成方法，其特征在于，所述碱金属碳酸盐的水溶液为碳酸钠水溶液。

9.一种电路材料，其特征在于，通过权利要求7或8所述的正型图案形成方法而得到。

10.一种覆盖层，其特征在于，使用权利要求1～3任一项所述的正型感光性树脂组合物、权利要求4所述的溶液、或者权利要求5或6所述的聚酰亚胺而形成。

11.一种挠性印刷基板，其特征在于，具有权利要求10所述的覆盖层。

12.一种聚酰亚胺薄膜，其特征在于，含有权利要求5或6所述的聚酰亚胺。