[发明专利]晶片位置示教方法及示教夹具装置

说明书

技术领域

本发明涉及示教半导体晶片搬运用机器人半导体晶片位置的方法，尤其涉及外部示教夹具。

背景技术

以往，半导体晶片搬运用机器人的示教作业，与一般的工业机器人相同，操作者目视搬运对象——晶片，确认其位置后将机器人引导至晶片。可是，存在难以或不能从外部目视位于处理装置等内部的晶片的情形。因此，有人提出如下技术方案：取代晶片将与实物的晶片相同尺寸的示教夹具载置于处理装置等上，通过设置于机器人的手端操作装置上的传感器检测出该示教夹具的位置，从而向机器人示教位置的所谓自动示教方法或装置。

本申请发明者们提出先使用具备2个透射光式传感器的机械手进行示教夹具的传感检测的方法(例如参照专利文献1)。在现有的晶片示教方法中，为了通过机器人的晶片把持部的传感器传感检测示教夹具而使晶片把持部向示教夹具附近自动移动的动作，基于预先根据装置附图计算出的示教位置(以下称为预示教位置)进行。另外，虽然本申请发明者们也提出以手动进行使晶片把持部向示教夹具附近移动的动作的方法(例如参照专利文献2)，但为了提高自动化率缩短示教操作的时间，也希望晶片把持部自动移动。

专利文献1：国际公开公报WO03/22534

专利文献2：日本特开2005-123261

发明内容

可是，在现有的方法中存在如下问题：若处理装置相对于机器人的设置精度不良，则在装置入口的开口部(以下称横宽)狭窄的装置中，在使晶片把持部接近示教夹具之际，晶片把持部会撞在装置上。

因此，本发明是鉴于这样的问题而提出的，目的在于提供一种通过传感检测设置于装置前面外壁的外部示教夹具预先修正示教位置，从而不会使晶片把持部与装置干涉，即使在横宽狭窄的装置中也可自动高精度地示教半导体晶片位置的方法。而且，另一目的在于还提供一种通过所述外部示教夹具的设置不会使通常的晶片搬运时的机器人的可动范围缩小的外部示教夹具及其设置方法。

为了解决上述问题，本发明采用如下的构成。

本发明方案1提供的晶片位置示教方法，在收纳容器与处理装置之间或处理装置相互之间进行半导体晶片搬运的机器人上，在所述收纳容器或所述处理装置的设置半导体晶片的位置设置示教夹具，以设置于所述机器人晶片把持部的传感器检测出所述示教夹具，在用所述传感器传感检测所述示教夹具之前，将设置于所述处理装置的前面外壁的外部示教夹具用所述传感器通过传感检测进行传感检测从而粗略地推断所述示教夹具的位置，基于该推断位置利用所述传感器接近所述示教夹具，通过进行传感检测求出所述半导体晶片的位置，向所述机器人示教所述半导体晶片的位置，所述外部示教夹具的个数至少为2个，设置于使该设置位置在所述处理装置的前面外壁沿水平方向偏离的位置。

本发明方案2提供的示教夹具装置，具有：为了向在收纳容器与处理装置之间或处理装置相互之间进行半导体晶片搬运的机器人示教所述半导体晶片的位置而设置的预备进行传感检测的外部示教夹具；及设置于所述处理装置内部的示教夹具，所述外部示教夹具的个数至少为2个，设置于使该设置位置在所述处理装置的前面外壁沿水平方向偏离的位置。

根据方案1、2所述的发明，具有如下效果：通过传感检测沿水平方向偏离的2个以上的外部示教夹具，可以检测出处理装置相对于机器人的倾斜，从而能够高精度地推断半导体晶片的位置。

另外，通过传感检测设置于装置前面外壁的外部示教夹具来推断示教夹具的位置，以所述推断位置替换控制器储存的根据装置附图计算出的预示教位置，机器人基于该修正了的预示教位置接近示教夹具，从而可使晶片把持部不与装置干涉地引导至示教夹具。具有如下效果：如果一旦晶片把持部能够接近示教夹具，则即使在横宽狭窄的装置中，也可以自动示教该半导体晶片的位置。

附图说明

图1是表示应用本发明的机器人的行走运动的俯视图。

图2是表示应用本发明的机器人的旋转动作的俯视图。

图3是表示应用本发明的机器人的伸缩动作的俯视图。

图4是表示应用本发明的机器人的升降动作的侧视图。

图5是表示图1中的透射式传感器的立体图。

图6是表示本发明的晶片搬运装置的俯视图。

图7是表示本发明的外部示教夹具的安装状态的说明图。

图8是表示本发明的动作的流程图。

图9是图8的流程图的接续。

图10是表示本发明示教位置推断方法的说明图。

符号说明