[发明专利]一种图案化方法无效

专利信息
申请号: 200680025674.0 申请日: 2006-06-07
公开(公告)号: CN101222974A 公开(公告)日: 2008-07-16
发明(设计)人: I·A·麦斯威尔;J·S·威廉姆斯;J·E·布拉德比 申请(专利权)人: 日欧塔控股有限公司
主分类号: B01J3/06 分类号: B01J3/06;H01L21/322
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 代理人: 项丹
地址: 澳大利亚*** 国省代码: 澳大利亚;AU
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摘要:
搜索关键词: 一种 图案 方法
【权利要求书】:

1.一种图案化方法,所述方法包括:

对物体的一个或多个区域施加压力和解除压力,使所述物体的一个或多个区域发生相转变,所述转变的一个或多个区域具有表示预定的图案的对应的预定的形状。

2.如权利要求1所述的图案化方法,所述方法包括:

接受表示所述一种或多种预定的形状的图案数据,所述施加压力和解除压力的步骤根据所述图案数据进行。

3.如权利要求1或2所述的图案化方法,其特征在于,所述一种或多种预定的形状中的至少一种是延伸的形状。

4.如权利要求1-3中任一项所述的图案化方法,其特征在于,以基本垂直于所述物体表面的方向向该表面施加所述压力。

5.如权利要求1-4中任一项所述的图案化方法,其特征在于,按照以下方式施加压力和解除压力:对所述物体进行冲压,使得在所述施加和解除压力的步骤过程中,在所述压力施加器和所述物体之间没有明显的相对运动。

6.如权利要求1-5中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而控制所述物体的一个或多个区域的转变。

7.如权利要求1-6中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而确定所述物体的转变后的一个或多个区域的一种最终相。

8.如权利要求1-6中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而确定所述物体的转变后的一个或多个区域的多种最终相。

9.如权利要求1-8中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而确定所述物体的转变后的一个或多个区域的形状。

10.如权利要求1-9中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而确定所述物体的转变后的一个或多个区域的横向范围。

11.如权利要求1-10中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除所述压力的操作中的至少一种进行控制,从而确定所述物体的转变后的一个或多个区域的厚度。

12.如权利要求1-11中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述施加压力和解除压力的步骤包括对解除所述压力的速率进行控制,从而控制所述物体的一个或多个区域的转变。

13.如权利要求1-12中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述相包括第一相,所述施加压力和解除压力的步骤包括对施加和解除压力的操作进行控制,使所述第一相转变成第二相和第三相,并确定所述第二相和所述第三相的各自的空间分布。

14.如权利要求13所述的图案化方法,其特征在于,所述对施加和解除压力的操作的控制包括选择最大的施加压力,并且控制一种或多种解除所述压力的速率。

15.如权利要求12所述的图案化方法,其特征在于,所述控制包括以第一解除速率解除部分所述压力,使一个或多个第一区域的第一相转变成第二相,并且以第二解除速率进一步解除至少另一部分的所述压力,使一个或多个第二区域转变为第三相。

16.如权利要求1-15中任一项所述的图案化方法,其特征在于,通过压力施加器向所述物体施加所述压力,所述压力施加器包括一个或多个用于向所述物体施加所述压力的凸出物。

17.如权利要求16所述的图案化方法,其特征在于,所述一个或多个凸出物包括一个或多个延伸的凸出物。

18.如权利要求16或17所述的图案化方法,其特征在于,所述一个或多个凸出物包括一个或多个基本为点状的凸出物。

19.如权利要求16-18中任一项所述的图案化方法,其特征在于,所述压力施加器包括一个或多个冲模、触针和压头尖端。

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