[发明专利]抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 200680026038.X | 申请日： | 2006-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN101223482A | 公开（公告）日： | 2008-07-16 |
| 发明（设计）人： | 室井雅昭;尾崎弘和 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/26 | 分类号： | G03F7/26;B01D61/14;B01D61/58;B01D71/26;B01D71/32;B01D71/56;G03F7/039;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 制造 方法 过滤 装置 以及 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂组合物的制造方法，其中，
具有：
将抗蚀剂组合物通过具备聚乙烯制中空丝膜的过滤器(f1)的工序(I)，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性发生变化的树脂成分(A)和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物的制造方法，其中，
在所述工序(I)之前及/或之后，进一步具有：
使所述抗蚀剂组合物，通过具备尼龙制膜的过滤器及/或具备氟树脂制膜的过滤器的工序。
3.一种过滤装置，其中，
在抗蚀剂组合物用的流路上具有过滤部(F1)，所述过滤部(F1)具有备有聚乙烯制中空丝膜的过滤器(f1)，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性发生变化的树脂成分(A)和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成。
4.根据权利要求3所述的过滤装置，其中，
在所述流路上，在所述过滤部(F1)的上游侧及/或下游侧，进一步具有过滤部(F2)，所述过滤部(F2)具有备有尼龙制膜的过滤器及/或备有氟树脂制膜的过滤器。
5.一种抗蚀剂组合物的涂敷装置，其搭载有权利要求3所述的过滤装置。
6.一种抗蚀剂组合物，其是通过权利要求1所述的抗蚀剂组合物的制造方法而得到。
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