[发明专利]光学微型光谱仪

权利要求书

1.一种光谱仪，包括：

第一晶片(11)；

具有位于该第一晶片上的第一通道(13)和第二通道(13)的第二晶片(12)；

位于该第一通道的第一端的光源(17)；

位于该第一通道的第二端和该第二通道的第一端的反射器(14)；和

位于该第二通道的第二端的检测器阵列(19)；并且

其中该光源、该反射器和该检测器阵列位于平面中的圆(15)的圆周周围。

2.如权利要求1所述的光谱仪，其中该反射器(14)是光栅。

3.如权利要求1所述的光谱仪，其中该圆(15)是罗兰圆。

4.一种光谱仪，包括：

第一晶片(32)；

位于该第一晶片上的检测器(19)；

位于该第一晶片上的第二晶片(34)，具有在该检测器周围的第一开口，并且具有光源(17)；

第三晶片(33)，位于该第二晶片上，具有近似地与该第一开口对准的第二开口，并且具有与该第一和第二开口相交的通道；和

第四晶片(31)，位于该第三晶片上，并且具有位于该第二开口附近的反射器光栅(14)。

5.如权利要求4所述的光谱仪，其中该光源(17)是光纤(27)的一端，该光纤具有与光源耦合的另一端。

6.一种光谱仪，包括：

外壳；

在该外壳的第一位置处的窗口(57)；

在该外壳的第二位置处的反射器光栅(14)；

在该外壳的第三位置处的检测器(19)；和

位于该外壳的外部的邻近于该窗口(57)的光源；并且

其中：

光路(16)能够从该光源到达该反射器光栅(14)，并且从该反射器光栅到达检测器(19)；

该光源、该反射器光栅和该检测器位于圆(15)的圆周附近。

7.如权利要求6所述的光谱仪，其中该圆(15)是罗兰圆。

8.一种光谱仪，包括：

光源(41)；

位于支承体上的薄膜(49)；

位于该薄膜附近的光栅(14)；

检测器(19)；和

位于该光栅和该检测器之间的滤光器(52)；并且

其中：

光路(48)从该光源到该薄膜，从该薄膜到该光栅，从该光栅通过该滤光器到该检测器；并且

该薄膜(49)在来自该光源(41)的光(48)撞击时发射拉曼光。

9.如权利要求8所述的光谱仪，其中该光源(41)是VCSEL。

10.一种光谱仪，包括：

光源(41)；

位于支承体上的薄膜(49)；

位于该光源和该薄膜之间的滤光器(53)；

位于该滤光器附近的光栅(55)；和

邻近于该光栅的检测器(19)；并且

其中：

光路(48)从该光源到该薄膜，从该薄膜到该滤光器，从该滤光器到该光栅，并且从该光栅到该检测器；以及

在接收到来自该光源(41)的光时能够从该薄膜(49)发射拉曼光。