[发明专利]具有集成载荷单元的化学药品存储设备

说明书

背景技术

多种化学药品可用作半导体工业中化学气相沉积的前体。一般地，用于在晶片上形成膜或层的前体为在室温下具有较低蒸汽压的液体(在室温下＜500托)。当前，前体材料被存储在密封和密闭的钢(根据前体特征为不锈钢、碳钢或者其它专用合金)罐中。可在化学气相沉积腔附近，这里随着每个罐用完，所述罐被周期性替换，或者所述罐用于大体积再装系统中，所述系统在使用罐的位置提供自动填充罐的源。

至少有两个原因可以解释为什么监测存储罐中的化学药品水平是重要的。第一个原因是保证在罐中有足够的前体以执行期望的化学气相沉积步骤。第二个原因是能够在替代罐之前的过程中采用最大量的前体化学药品。该第二点影响整体系统成本效率。一旦断开罐，则废弃任何剩余的材料。因此，如果在最大耗尽之前替换罐，则不仅废弃了材料，而且在处理附加废品时产生附加成本。

尝试了各种减少浪费的技术，包括采用浮控开关和液位传感器。但是到目前为止在实际运行中还没有证明为完全满意的方法。

当前所应用技术的主要缺点在于其不是普遍适用于所有的化学药品。例如，如果前体化学药品的比重改变，则浮控开关不能如所期望地运行。此外，液位传感器通常不能视觉显示罐中的内容物。为获得信息，该罐必须连至分配设备，并且必须在分配系统计算机或者可编程逻辑控制器上解释和显示液位传感器的信号。

因此，需要一种可实时监测化学药品使用而不论化学药品类型或者相的方法和化学药品存储设备。

发明内容

这里公开了一种化学药品存储设备和监测化学药品使用的方法。该装置和方法通过将化学药品存储罐和载荷单元组合为一个可运输单元中而处理上述问题。该载荷单元能够补偿在半导体工业中所使用的附加分配设备的增加的重量。另外，该载荷单元连续显示在化学存储设备中剩余的化学药品重量。集成至载荷单元本身的载荷单元控制逻辑包括了该功能性。

在一个实施例中，通过包括罐的化学药品存储设备处理现有技术中的这些及其它需要。该化学存储设备还包括与所述罐成为一体的载荷单元。该载荷单元包括处理器和显示器。另外，该化学存储设备包括可在所述处理器上执行的控制逻辑，其中所述控制逻辑使载荷单元响应于用户输入测定空罐重量。该控制逻辑还使得载荷单元在所述显示器上显示添加至罐的至少一种化学药品的重量。而且，在分配设备被连至罐以后该控制逻辑使得载荷单元校准自身从而仅仅在显示器上显示化学药品的重量并连续显示在罐中所剩余化学药品的重量。

在另一个实施例中，监测化学药品使用的方法包括测定具有集成载荷单元的空化学药品存储设备的皮重。另外，该方法包括以至少一种化学药品将化学存储设备填充至填充重量。此外，该方法包括将化学存储设备连至分配设备。该方法还包括校准载荷单元以补偿分配设备的重量从而仅仅显示化学药品的填充重量。该方法还包括连续测量在化学药品存储设备中剩余的化学药品重量。

上述内容非常宽泛地概述了本发明的特征和技术优势从而可更好理解下面对本发明的详细描述。下面将描述形成本发明权利要求主题的本发明的其它特征和优点。本领域技术人员将理解这里所公开的构思和特别实施例容易可作为更改或者设计执行本发明相同目的的其它结构的基础。本领域技术人员还应理解这些等同结构不偏离所附权利要求所列出的本发明范围。

附图说明

为详细描述本发明的优选实施例，现在将参考附图，其中：

图1是化学药品存储设备实例的视图；

图2是用于温度提高应用的化学药品存储设备实施例的视图；

图3示出了载荷单元传感器的实施例；

图4是监测化学药品使用的方法的流程图；以及

图5是载荷单元值和常规称重值的比较。

符号和术语

在整个的下面描述和权利要求书中采用某些术语以指代特定系统元件。本文不用于区分名字不同而功能相同的元件。

在下面的讨论和权利要求书中，以开放形式使用术语“具有”和“包括”，因此应当解释为意味着“包括但不限于”。而且，术语“耦合”是指间接或直接电连接。因此，如果第一设备耦合至第二设备，则该连接可通过直接的电连接或者通过经其它设备和连接的间接电连接。

具体实施方式